【儀表網(wǎng) 儀表企業(yè)】2016年6月1日至7日，國家“十二五”科技創(chuàng)新成就展在北京展覽館隆重召開。此次展覽以“創(chuàng)新驅(qū)動發(fā)展，科技未來”為主題，共分為七個組成部分，其中國家科技重大專項（以下簡稱“專項”）作為第二部分的單元參展，向全國人民展示了“專項”五年以來攻克的一批關(guān)鍵技術(shù)，研制的一批裝備，推出的一批重大產(chǎn)品以及培育的一批具有競爭力的國內(nèi)企業(yè)。6月3日，黨和、、張德江、俞正聲、劉云山、參觀了展覽。
七星電子是“02專項”的重點承擔(dān)企業(yè)，先后承擔(dān)了多項12吋集成電路工藝設(shè)備開發(fā)，涵蓋90-14納米技術(shù)代，研制產(chǎn)品包括立式氧化爐、LPCVD（低壓化學(xué)氣相沉積）、銅互連單片清洗機、氣體質(zhì)量流量控制器等。通過持續(xù)攻堅克難，七星電子 “02專項”項目在“十二五”期間取得累累碩果。
12吋立式氧化爐采用了先進的MBTC控溫模型技術(shù)，大大提高了控溫精度、大限度地降低了熱預(yù)算，完成了集成電路大生產(chǎn)線驗證，實現(xiàn)了對國內(nèi)主流集成電路芯片企業(yè)中芯、上海華力、武漢新芯等銷售，受到用戶的廣泛認(rèn)可。12吋銅互連單片清洗設(shè)備采用了先進的兆聲波清洗技術(shù)，使顆粒去除效率高可達99%，產(chǎn)品已經(jīng)完成大生產(chǎn)線驗證，實現(xiàn)了對中芯供貨。
12吋LPCVD設(shè)備、12吋高溫爐設(shè)備、12吋硅材料清洗設(shè)備均在國內(nèi)產(chǎn)線實現(xiàn)應(yīng)用。質(zhì)量流量控制器也完成用戶驗證，部分核心技術(shù)上達到先進水平，產(chǎn)品已批量供應(yīng)中芯、上海華力等集成電路生產(chǎn)線及上海中微、北方微電子等集成電路設(shè)備制造商。“十二五”期間，七星電子立式爐和清洗設(shè)備在集成電路生產(chǎn)線實現(xiàn)配套12臺，其技術(shù)延伸應(yīng)用于泛半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)，實現(xiàn)銷售500臺以上。氣體質(zhì)量流量控制器實現(xiàn)半導(dǎo)體領(lǐng)域銷售逾萬臺，出口美國3000臺以上。
七星電子重組標(biāo)的-北方微電子是“02專項”項目重點承擔(dān)單位，先后承擔(dān)了12吋刻蝕機、PVD（物理氣相沉積）設(shè)備的開發(fā)，涵蓋100-14納米技術(shù)代，產(chǎn)品已經(jīng)在國內(nèi)集成電路生產(chǎn)線實現(xiàn)配套應(yīng)用。本次展覽中，北方微電子重點展出了適用40nm至14nm技術(shù)代的金屬薄膜沉積設(shè)備，作為國產(chǎn)集成電路設(shè)備的成果代表，該產(chǎn)品已順利通過了中國大集成電路代工廠中芯的產(chǎn)品驗證并成為28納米生產(chǎn)線國產(chǎn)裝備中的首臺Baseline設(shè)備。
目前北方微電子金屬薄膜沉積全系列產(chǎn)品已形成對集成電路、先進封裝、LED照明等領(lǐng)域安裝應(yīng)用超過120臺套，獲得了包括中芯、上海華力、武漢新芯以及中國臺灣幾大主流集成電路大客戶的廣泛認(rèn)可和信任。同時，北方微電子的HM PVD展品吸引了科技部部長萬鋼及中辦領(lǐng)導(dǎo)的關(guān)注，并對公司在集成電路裝備領(lǐng)域所取得的成果表示肯定。
“十二五”時期，國家科技重大專項進展順利，形成了高水平的創(chuàng)新平臺和產(chǎn)業(yè)化基地，培養(yǎng)和凝聚了來自海內(nèi)外的高素質(zhì)人才隊伍，提升了企業(yè)和國家的創(chuàng)新能力，為我國戰(zhàn)略必爭領(lǐng)域突破重大核心技術(shù)、開辟新的產(chǎn)業(yè)發(fā)展方向、培育新的經(jīng)濟增長點提供了有力支撐，為建設(shè)創(chuàng)新型國家和全面建成小康社會做出了積極貢獻。
作為國內(nèi)規(guī)模大的集成電路裝備制造商，七星電子將繼續(xù)奮發(fā)圖強，聯(lián)合產(chǎn)業(yè)上下游企業(yè)，與業(yè)界同仁一道，為我國集成電路裝備實現(xiàn)跨越式發(fā)展，早日實現(xiàn)“中國制造”貢獻自己的力量。
（原標(biāo)題：七星電子&北方微電子參加國家“十二五”科技創(chuàng)新成就展，親臨展臺）
