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inficon IC/5、XTC2等薄膜沉積控制產品維修或替換
Maxtek MDC-360/360C薄膜沉積控制儀維修或替換
滿足 ALD 應用的精度、運行時間以及極低的維護要求
INFICON ALD 探頭為原子狀態(tài)膜層沉積 (ALD) 提供了具石英晶體微天平 (QCM) 測量水準的可靠性、精度和重復性。ALD 探頭可承受高達 450 ℃ 的高溫，其設計允許探頭在嚴苛的 ALD 應用環(huán)境中運行。裸露的晶體電極接地，以有效地消除任何潛在的電氣干擾問題。
專為 ALD 設計
INFICON ALD 探頭的性之一便是利用惰性氣體（通常為氮氣）吹掃晶片背面和探頭腔體。這可防止反應室的氣體進入探頭，并確保晶片背面和電氣觸點無沉積材料。這種技術可在不適合使用標準 QCM 的系統(tǒng)中實現現場測量。
饋入件和饋入件連接
INFICON ALD 探頭可采用自定義焊接長度，也可采用長度可調的壓縮接頭而無需銅焊或焊接。所有配置都使用 2 ? 英寸(CF40) ConFlat® 法蘭饋入件。
高溫晶片實現更準確的測量
與 INFICON 的新型高溫石英晶片結合使用時，INFICON ALD 探頭可在高溫應用中達到測量精度和較低的頻率噪聲。這些高溫晶片針對 120、240 和 285 ℃ 應用進行了優(yōu)化，因此您總能獲得適合自己應用的正確晶片。也可提供針對其他溫度優(yōu)化過的晶片。請根據自己的需求聯系 INFICON。
| Welded ALD Sensor | |
|---|---|
| 零件號 | 明細 |
| 750-713-G4 | 焊接 ALD 探頭 |
| Adjustable ALD Sensor | |
| 零件號 | 明細 |
| 750-717-G2 | 可調 ALD 探頭，長度調節(jié)范圍為 101.6 至 393.7 mm（4 至 15.5 in.） |
| 750-717-G4 | 可調 ALD 探頭，長度調節(jié)范圍為 101.6 至 901.7 mm（4 至 35.5 in.） |
| 類型 | Welded ALD Sensor | Adjustable ALD Sensor | |
|---|---|---|---|
| 溫度 | 450° C | 130° C | |
| 饋入件 | 2.75 in. ConFlat® | 2.75 in. ConFlat® equipped with O-ring compression fittings | |
| 探頭/饋入件連接 | Welded (no fillers) | O-ring compression fittings | |
| 氣體和同軸管 | Gas: 3.2 mm (1/8 in.) O.D. (vacuum side) 6.4 mm (1/4 in.) O.D. (atmosphere side) Coax: 4.8 mm (3/16 in.) O.D. | Gas: 3.2 mm (1/8 in.) O.D. Coax: 4.8 mm (3/16 in.) O.D. | |
| 探頭尺寸 （外殼） | 34 x 35 x 24 mm (1.35 x 1.38 x 0.94 in.) | 34 x 35 x 24 mm (1.35 x 1.38 x 0.94 in.) | |
| 晶片更換 | Front loading, self-contained package Cam-type locking handle | Front loading, self-contained package Cam-type locking handle | |
| 安裝 | Four #4-40 tapped holes on back of sensor body | Four #4-40 tapped holes on back of sensor body | |
| 材料 | |||
| 主體和支架 | 304 stainless steel | 304 stainless steel | |
| 彈簧 | Molybdenum and Inconel X-750 | Molybdenum and Inconel X-750 | |
| 氣體和同軸管 | Seamless 304 stainless steel | Seamless 304 stainless steel | |
| 其他機械部件 | 18-8 or 304 stainless steel | 18-8 or 304 stainless steel | |
| 絕緣體 | >99% Al2O3 in vacuum | >99% Al2O3 in vacuum | |
| 電線 | 1) Ni (in vacuum) 2) Ni plated Cu (elsewhere) | 1) Ni (in vacuum) 2) Ni plated Cu (elsewhere) | |
| 銅焊 | Vacuum process high temperature Ni-Cr alloy | Vacuum process high temperature Ni-Cr alloy | |
| O 形密封圈壓縮接頭 | N/A | 304 stainless steel, Viton® | |
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