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Maxtek MDC-360/360C薄膜沉積控制儀維修或替換
INFICON 提供各種石英晶體監測儀 (QCM) 傳感器饋入件，以適應多種 QCM 傳感器和腔室配置。CF40 (2.75 in. ConFlat?) 和 2.54 cm (1 in.) 螺栓式饋入件提供電氣連接、水冷卻和空氣管的各種組合。INFICON 饋入件還配備了 Ultra-Torr O 形密封圈壓縮接頭，用于輕松安裝和傳感器長度調整。根據要求可提供其他饋入件款式（KF40 等），因此請聯系 INFICON 提出您的饋入件需求。
除非另行說明，否則典型的饋入件電氣連接包含一個同軸 BNC 連接器（大氣端）和一個 Microdot?連接器（真空端）。此款式的電氣連接旨在與真空電纜傳感器（例如 INFICON 前裝式單傳感器、前裝式雙傳感器、薄型單傳感器、精選薄型雙傳感器、濺射傳感器、CrystalSix 和 Crystal 12 傳感器）配合使用。
備注：饋入件水管和空氣管為 4.8 mm (3/16 in.) 外徑。
備注：薄型雙傳感器使用 4.8 mm (3/16 in.) 外徑水冷管。 它們與配備饋入件的 Ultra-Torr 不兼容，需要管接頭才能焊接到具有 4.8 mm (3/16 in.) 外徑水冷管的標準饋入件。
下表是基于傳感器類型的饋入件要求和零件號的快速參考。
| QCM Sensor Feedthroughs | |
|---|---|
| 零件號 | 明細 |
| 2.54 cm (1 in.) Bolt Feedthroughs | （附帶 VITON? O 形密封圈） |
| 002-042 | 1 英寸螺栓饋入件，1 根同軸電纜，2 個管道 |
| 750-030-G1 | 1 英寸螺栓饋入件，1 根同軸電纜，3 個管道 |
| 750-707-G1 | 1 英寸螺栓饋入件，2 根同軸電纜，3 個管道 |
| 750-624-G1 | 1 英寸螺栓饋入件，1 根同軸電纜，2 個管道 |
| 783-501-013 | 1 英寸螺栓饋入件，1 根同軸電纜、2 個管道，Ultra-Torr O 形密封圈壓縮接頭 |
| CF40 (2.75 in. ConFlat) Feedthroughs | （包括銅墊圈） |
| 002-043 | CF40 饋入件，1 根同軸電纜，2 個管道 |
| 750-685-G1 | CF40 饋入件，1 根同軸電纜，3 個管道 |
| 002-080 | CF40 饋入件，2 根同軸電纜，3 個管道 |
| 750-683-G1 | CF40 饋入件，1 根同軸電纜，4 個管道 |
| 206-878-G2 | CF40 螺栓饋入件，1 根同軸電纜、2 個管道，Ultra-Torr O 形密封圈壓縮接頭 |
| 750-685-G2 | CF40 螺栓饋入件，1 根同軸電纜、3 個管道，Ultra-Torr O 形密封圈壓縮接頭 |
| 206-890-G2 | CF40 螺栓饋入件，2 根同軸電纜、3 個管道，Ultra-Torr O 形密封圈壓縮接頭 |
| KF40 Feedthroughs | （附帶 VITON? O 形密封圈） |
| 130246 | KF40 饋入件，1 根同軸電纜，2 個管道 |
| 130239 | KF40 饋入件，1 根同軸電纜，3 個管道 |
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