當前位置:深圳市萬德泉科技有限公司>>inficon薄膜沉積控制產品(晶控儀)>> RSH-600 旋轉式探頭
inficon IC/5、XTC2等薄膜沉積控制產品維修或替換
Maxtek MDC-360/360C薄膜沉積控制儀維修或替換
適用于應用的晶體性能
RSH-600 旋轉式傳感器頭設計用于需要采用非常厚的薄膜和多種不同材料的苛刻應用。RSH-600 將六顆晶體固定在熱屏蔽、水冷卻的殼體中,確保在溫度高達 300°C 的應用環境下獲得的晶體性能。晶體固定在一個易于拆卸的 Teflon? 和不銹鋼晶體支架中。
類型 | RSH-600 Rotary Sensor | |
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晶體數量 | Six | |
晶體尺寸 | 14 mm (0.550 in.) diameter | |
安裝孔 | 50.8 mm (2.0 in.) diameter | |
總長度 | See Data Sheet | |
真空可調長度 | See Data Sheet | |
電源要求 | 24 V (dc) Solenoid Valve: 21.6 - 26.4 V (dc), 40 mA 115 V (ac) Solenoid Valve: 90 - 132 V (ac), 36/32 mA rms (50/60 Hz) | |
晶體轉換方法 | Air Actuated @ 55 psi (4 kg/cm2) regulated | |
冷卻方法 | Water cooled at 5 L/m at 2 kg/cm2 (28 psi) (Do not allow to freeze) | |
空氣和水連接 | One ? in. quick connect for air, two ? in. compression fittings for water | |
無水時的烘烤溫度 | 130° C | |
工作溫度(水冷) | 300° C max with stainless steel head cover 400° C max with copper head cover | |
重量 | RSH-600 ~ 8.5 lb. (3.8 kg), varies with overall length | |
材料 | 304 stainless steel, Teflon?, Beryllium Nickel |
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