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  • 深圳市萬德泉科技有限公司
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    濺射型探頭

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    更新時間:2020-09-14 10:10:28瀏覽次數:250次

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    濺射型探頭INFICON 濺射傳感器專為各種濺射過程而設計。鍍金鈹銅傳感器體和冷卻管在濺射環境中可實現冷卻效果。傳感器頭內置的磁鐵可抑制因外部磁場偏轉濺射系統中的高能自由電子而引起的過熱。后裝式晶體支架設計便于更換晶體,更換時無需從系統中拆卸傳感器頭。市場價: 0.00價格:0.00型號: Sputtering Sensor 常用貨號(P/N): 750-61......

    INFICON 濺射傳感器專為各種濺射過程而設計。鍍金鈹銅傳感器體和冷卻管在濺射環境中可實現冷卻效果。傳感器頭內置的磁鐵可抑制因外部磁場偏轉濺射系統中的高能自由電子而引起的過熱。后裝式晶體支架設計便于更換晶體,更換時無需從系統中拆卸傳感器頭。

    功能

    • 鍍金鈹銅傳感器體和冷卻管可實現冷卻效果
    • 磁鐵可偏轉自由電子,使其遠離監控器晶體
    • 利用可彎曲的水管輕松安裝,靈活放置傳感器
    • 后裝式晶體插入便于更換晶體

    零件號

    Sputtering Sensor
    零件號明細
    750-618-G1 濺射傳感器(僅傳感器,不包括饋入件)

    規格

    類型Sputtering Sensor
    無水時的烘烤溫度105°C
    小水流時的工作等溫環境溫度400° C
    尺寸(大外殼)1.36 in. OD x 0.69 in. high (3.45 cm x 1.75 cm)
    水、空氣和同軸長度Standard 30 in. (76.2 cm)
    晶體交換Rear-loading
    安裝Customer supplied
    安裝要求
    饋入件

    2 pass water with coax connector

    2? in. ConFlat? Flange – IPN 002-043

    1 in. Bolt – IPN 002-042


    其他

    1) Customer to provide vacuum-tight braze joints or connectors for the water tubes.

    2) XIU or Oscillator designed to interface with the specific deposition controller.

    水流速Minimum water flow 750 cc/min, 30° C max (Do not allow to freeze) Coolant should not contain chlorides as stress corrosion cracking may occur. If the water tube passes through a cryoshroud, drain the tubes if the water flow is stopped for any reason.
    材料
    主體和支架Au plated Be-Cu
    彈簧、電氣觸點Au plated Be-Cu
    水管Au plated Be-Cu, 0.125 in. (0.32 cm) O.D.
    連接器304 Stainless steel
    絕緣體99% Al2O3
    電線Teflon? insulated copper
    焊料Cadmium free silver and indium alloys
    晶體0.550 in. (1.4 cm) Diameter
    磁鐵ALNICO 5 Alloy
    可選閘門組件 750-005-G1 規格:
    溫度130° C
    1 in. 螺栓和 Ultra-Torr(壓縮接頭)端接:
    材料304 stainless steel, Teflon, ceramic, beryllium nickel, VITON?
    溫度Operational environment to 300oC with water cooling or 165oC without
    安裝1.015 in. ±0.010 in. diameter aperture
    CF 40 焊接式端接:
    材料304 stainless steel, Teflon, ceramic, beryllium nickel
    溫度Operational environment to 450oC with water cooling or 165oC without
    安裝Mates with 2 ? in. ConFlat type flanges with 1.375 in. I.D. min.

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