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inficon IC/5、XTC2等薄膜沉積控制產品維修或替換
Maxtek MDC-360/360C薄膜沉積控制儀維修或替換
炫酷抽屜雙傳感器設計用于在真空室中需要第二晶體的關鍵過程。擁有水冷澆鑄不銹鋼傳感器殼體、兩個炫酷抽屜晶體支架以及一個氣動閘門，可以為堅固耐用的傳感器頭提供超高的備份晶體可靠性。腔室中沒有同軸電纜，可以進行更純凈、更可靠的真空系統安裝。
| 類型 | Cool Drawer Dual Sensor | |
|---|---|---|
| 表面加工 | Stainless steel, gold plated Cool Drawer? | |
| 冷卻水 | Minimum water flow of 150 to 200 cm3/min using 1/8 in. O.D. tube, 30°C max. (Do not allow to freeze) | |
| 晶體 | Industry standard 0.550 in. diameter | |
| 空氣源 | 55 to 60 PSI regulated | |
| 電氣連接 | Two standard female BNCs on atmosphere side | |
| 1 in. 螺栓和壓縮接頭密封端接 | ||
| 材料 | 304 stainless steel, Teflon?, ceramic, beryllium nickel, VITON? | |
| 溫度 | Operational environment to 300° C with water cooling or 165° C without | |
| 安裝 | 1.015 in. ±0.010 in. diameter aperture | |
| CF 40 焊接式端接 | ||
| 材料 | 304 stainless steel, ceramic, beryllium nickel | |
| 溫度 | Operational environment to 450° C with water cooling or 200° C without | |
| 安裝 | Mates with 2 ? in. ConFlat? type flanges | |
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