《光譜共焦傳感器校準規范》征求意見

　　【儀表網 儀表標準】6月15日，全國幾何量工程參量計量技術委員會發布了《光譜共焦傳感器校準規范》征求意見稿，現向各位委員及相關專家征集意見。
 

　　光譜共焦傳感器是一種通過光學色散原理建立距離與波長間的對應關系，利用光譜儀解碼光譜信息，從而獲得位置信息的裝置。作為一種光學位移傳感器，主要用于表面形貌、薄膜厚度及位移的測量，在微電子、半導體、液晶平板等領域中具有廣泛的應用。
 

　　精密加工與先進制造中，位移傳感器技術作為產品質量檢測控制的核心部件，其測量精度制約最終產品的質量，光譜共焦傳感器作為一種新型位移傳感器，具有橫向分辨力高、非接觸、高精度、使用方便、適應性好的特點，不僅可應用于常規材料工件的表面定位和位移測量，更可適合于接觸易損易變形、微小零部件、液晶顯示屏等柔性材料的測量應用。作為一種非接觸高分辨的位移傳感器，廣泛應用于LED、MEMS、PCB、鏡片、手機、薄膜等各種元器件的制造和測量中。
 

　　制約位移傳感器測量精度的主要因素是其自身存在的各種誤差，如光學透鏡、電信號處理器、安裝誤差及軟件算法處理精度等。因此，在利用光譜共焦位移傳感器進行位移測量前，為了保證其能夠提供足夠的測量精度，應對光譜共焦位移傳感器進行校準。誤差校準作為光譜共焦位移傳感器進行量值溯源的核心環節，是保證光譜共焦位移傳感器使用精度的手段。
 

　　對光譜共焦位移傳感器的校準工作主要集中在重復性、線性誤差。對于光譜共焦傳感器的校準，目前還沒有合適的技術規范可供參考。因此，制定光譜共焦傳感器校準規范，是檢驗和判斷光譜共焦傳感器技術性能最重要的方法，是光譜共焦位移傳感器量值溯源的需要，更是光譜共焦位移傳感器量值準確統一的保證。
 

　　本規范依據JJF1071-2010《國家計量校準規范編寫規則》、JJF1001-2010《通用計量術語及定義》和JJF1059.1-2012《測量不確定度評定與表示》規定的規則編寫。
 

　　本規范參考了ISO25178-602 Geometrical product specifications(GPS)-Surface texture:Areal- Part 602:Nominal characteristics of non-contact(confocal chromatic prob) instruments、JJF1663-2017《激光測微儀校準規范》、JJF 1305-2011《線位移傳感器校準規范》的相關內容。
 

　　本規范引用了下列文件：JJF1071-2010《國家計量校準規范編寫規則》；JJF1001-2010《通用計量術語及定義》；JJF1059.1-2012《測量不確定度評定與表示》；ISO25178-602 Geometrical product specifications (GPS) - Surface texture: Areal- Part 602: Nominal characteristics of non-contact (confocal chromatic probe) instruments。使用本規范時，應注意使用上述引用文獻的現行有效版本。
 

　　本規范的主要內容包括：封面，扉頁，目錄，引言，范圍，引用文件，術語和計量單位，概述，計量特性，校準條件，校準項目和校準方法，校準結果表達，復校時間間隔，附錄(校準記錄參考格式，校準證書內頁參考格式，測量結果不確定度評定示例)。
 

　　本校準規范適用于測量范圍至100mm、分辨力優于10μm的光譜共焦傳感器的校準。