【儀表網(wǎng) 儀表標(biāo)準(zhǔn)】近日，全國(guó)幾何量工程參量計(jì)量技術(shù)委員會(huì)發(fā)布《數(shù)字式激光球面干涉儀校準(zhǔn)規(guī)范》征求意見(jiàn)稿，并面向全國(guó)的計(jì)量技術(shù)機(jī)構(gòu)、科研院所以及相關(guān)的行業(yè)企業(yè)征求意見(jiàn)。
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該規(guī)范主要起草單位為中國(guó)科學(xué)院光電技術(shù)研究所、中國(guó)計(jì)量科學(xué)研究院、中國(guó)測(cè)試技術(shù)研究院。編寫(xiě)中，引用了GB 2831-2009《光學(xué)零件的面形偏差判讀測(cè)試結(jié)果》、GJB/J 6221-2008《數(shù)字式激光平面干涉儀校準(zhǔn)規(guī)范》、JJF 1100-2003《平面等厚干涉儀校準(zhǔn)規(guī)范》、JJG 28-2000《平晶檢定規(guī)程》、JB/T 7401-1994《平面平晶 JJF 1001 通用計(jì)量術(shù)語(yǔ)及定義 JJF 1059 測(cè)量不確定度評(píng)定與表示》等文件中的相關(guān)內(nèi)容。
數(shù)字式激光球面干涉儀主要用于球面光學(xué)元件面形誤差的測(cè)量。其基本原理是通過(guò)分析參考球面與被測(cè)球面產(chǎn)生的干涉條紋而獲得被測(cè)球面面形誤差信息，其檢測(cè)精度直接受到干涉儀誤差(參考面面形誤差、隨機(jī) 電子噪聲、環(huán)境振動(dòng)及氣流擾動(dòng)等)的限制。近年來(lái)，大量進(jìn)口和國(guó)產(chǎn)的數(shù)字式激光球面干涉儀在光學(xué)制造行業(yè)尤其是國(guó)防工業(yè)領(lǐng)域投入使用。
根據(jù)可查閱到得相關(guān)資料顯示，國(guó)內(nèi)外目前尚沒(méi)有關(guān)于數(shù)字式激光球面干涉儀的校準(zhǔn)規(guī)范，僅存在數(shù)字式激光平面干涉儀的校準(zhǔn)規(guī)范《GJB/J 6221-2008 數(shù)字式激光平面干涉 儀校準(zhǔn)規(guī)范》。由于球面干涉儀與平面干涉儀之間在標(biāo)準(zhǔn)鏡的選擇、安裝與調(diào)整、光路結(jié)構(gòu)、被測(cè)鏡的檢測(cè)與標(biāo)定方法等方面存在極大的不同，其校準(zhǔn)規(guī)范不能相互適用，經(jīng)常出現(xiàn)不同用戶之間測(cè)量方法不統(tǒng)一、測(cè)量數(shù)據(jù)不吻合的問(wèn)題，故十分有必要制定數(shù)字式激光 球面干涉儀的校準(zhǔn)規(guī)范來(lái)規(guī)范和完善生產(chǎn)廠家和計(jì)量機(jī)構(gòu)等在校準(zhǔn)球面干涉儀時(shí)在校準(zhǔn)項(xiàng)目、校準(zhǔn)方法、校準(zhǔn)器具的要求及技術(shù)要求和準(zhǔn)確度等級(jí)等方面的表述。為了保證量傳 的準(zhǔn)確性，有必要制定國(guó)家校準(zhǔn)規(guī)范，保證量值的準(zhǔn)確統(tǒng)一。
此外，遵從JJF1071-2010《國(guó)家計(jì)量校準(zhǔn)規(guī)范編寫(xiě)規(guī)則》的要求，此規(guī)范架構(gòu)上包括封面、扉頁(yè)、目錄、引言、范圍、引用文件、概述、計(jì)量特性、校準(zhǔn)條件、校準(zhǔn)項(xiàng)目和校準(zhǔn)方法、校準(zhǔn)結(jié)果表達(dá)、復(fù)校時(shí)間間隔、附錄幾個(gè)部分。更多詳細(xì)情況請(qǐng)見(jiàn)附件。
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