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美國Corning平面度測量系統FlatMaster 100
Flatmaster 100平面度儀提供了五種納米級的解析度和高達50納米的標準精度，能夠快速和準確地對各種表面的平面度、線型、半徑和其他表面參數進行精密測量。
| Tropel Flat master 100平面度儀技術特點及應用領域： | ||
| ? 無接觸和無損傷測量 ? 適用多種類型材料： 半導體，金屬，聚合物，陶瓷，玻璃和其它材料 ? 適用多種類型晶片： 硅/藍寶石/碳化硅/砷化鎵/石英/鍺/鈮酸鋰 ? 適用多種類型表面： 研磨表面，拋光面、光滑面 |  |  |
| 可測量多種指標 | 完整的分析系統 | ||
| ● 厚度 ● TTV ● SORI ● LTV ● LDOF ● 壓力 | ● 翹曲度 ● 彎曲度 ● 平坦度 ● 平面度 ● 線輪廓 ● 表面輪廓 | ● 三維 ● 拓撲 ● 合格率 ● 分布 ● 二維環形 ● 半徑切面 | ● 平面 ● 球面 ● 錐形匹配 ● 局部平面度分析 ● 斜度 |
| 技術參數： | |
| ? 精度：50nm （2.0μ″） ? 重復性：15 nm（0.6μ″）（1 sigma） ? 分辨率：5nm （0.2μ″） ? 可測量工件尺寸：25mm-100mm（更小工件也可提供） ? 動態測量范圍：>100um ? 測量數據點：230,000 / measurement ? 測量時間：5秒 ? 電源： ～220V 50Hz |  |
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