當前位置:上海量博實業(yè)有限公司>>光學檢測>>平面度測量系統(tǒng)>> Flatmaster 200美國康寧平面度儀
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所 在 地上海市
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更新時間:2023-08-01 07:42:02瀏覽次數(shù):200次
聯(lián)系我時,請告知來自 儀表網(wǎng)美國Corning平面度測量系統(tǒng)FlatMaster 100
Flatmaster 40美國康寧平面度測量系統(tǒng)
Flat Master 200平面度儀產(chǎn)品特點:
? 無接觸和無損傷測量
? 適用多種類型材料:半導(dǎo)體,金屬,聚合物,陶瓷,玻璃和其它材料
? 適用多種類型晶片:硅/藍寶石/碳化硅/砷化鎵/石英/鍺/鈮酸鋰
? 適用多種類型表面:研磨表面,拋光面,光滑面
Flat Master 200平面度儀可測量多種不同指標:
? 厚度/TTV/SORI/LTV/LDOF/壓力/翹曲度/彎曲度/平坦度/平面度/線輪廓/表面輪廓
? 完整的分析系統(tǒng)
? 三維/拓撲/合格率/分布/二維環(huán)形和半徑切面/平面/球面/錐形匹配/局部平面度分析/斜度
? 可以實現(xiàn)自動、快速、準確、穩(wěn)定的測量
? 超過15年的工業(yè)應(yīng)用,幾百臺的裝機量
Flat Master 200平面度儀的技術(shù)參數(shù):
1)精度:50nm (2.0μ″)
2)重復(fù)性:15 nm(0.6μ″)(1 sigma)
3)分辨率:5nm (0.2μ″)
4)可測量工件尺寸:25mm-200mm
5)動態(tài)測量范圍:>100um
6)測量數(shù)據(jù)點:230,000 點 / 每次測量
7)測量時間:5秒
8)電源:220V 50Hz
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