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CS-4 | 4" 精密I-V測試測量探針臺系統
特點/應用
◆ 滿足I-V/C-V，PIV測試，光電測試等
◆ 可用于6英寸以內樣品測試
◆ 同軸絲杠傳動結構，線性移動
◆ 可放置于手套箱內使用
◆ 形狀輕巧，操作方便，價格實惠
臺體規格
尺寸 | 4英寸/6英寸 |
水平旋轉 | 可360度旋轉，可微調15度，精度0.1度，帶角度鎖死裝置 |
X-Y移動行程 | 4英寸*4英寸 |
X-Y移動精度 | 10微米 |
樣品臺Z軸調節 | 可升降10mm |
樣品固定 | 真空吸附，中心吸附孔，多圈吸附環 |
針座平臺 | U型針座平臺，最多可放置6個探針座 |
背電極測試 | 樣品臺電學獨立懸空，4mm插孔可接背電極 |
外形尺寸 | 400mm長*400mm寬*500mm高 |
重量 | 約25千克 |
光學系統
顯微鏡類型 | 單筒顯微鏡/體式顯微鏡 |
放大倍率 | 16X-200X |
移動行程 | 水平方向繞立柱360度旋轉，Z軸50.8mm |
光源 | 外置LED無極調節亮度環形光源 |
CCD | 200萬像素/500萬像素/1200萬像素 |
探針座
X-Y-Z移動行程 | 12mm*12mm*12mm |
移動精度 | 10um/2um/0.7um/0.5um |
吸附方式 | 磁力吸附/真空吸附 |
線纜 | 同軸線/三軸線 |
漏電精度 | 10pA/100fA/10fA |
固定探針 | 彈簧固定/管狀固定 |
接頭類型 | BNC/三同軸/香蕉頭/鱷魚夾/接線端子 |
針尖直徑 | 0.2um/1um/2um/5um/10um/20um |
針尖材質 | 鎢鋼/鈹銅 |
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