北京歐唐科技發展有限公司
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<ul id="qqie6"></ul> 北京歐唐科技發展有限公司
1）特別適合口徑100mm高度50mm的非球面及自由曲面2）采用納米掃描和非接觸式共聚焦高度測量技術3）精度200nm，3D表面形貌和薄膜厚度4）可整機使用，也可集成到中心偏主機上，使LAS主機在幾秒內變成一個強大的3D表面輪廓儀
LAS-SPM™ 3D表面輪廓儀 | |||
技術 | 彩色共聚焦 | ||
| 應用 | 距離、厚度 | ||
| 取樣 | 4000 點/每秒 | ||
| 樣品 | φ50mmX50mm | ||
| 探頭 | 0.2mm | 1mm | 4mm |
| 橫向分辨率 | 1.7um | 2.5um | 4um |
| 工作距離 | 5mm | 16mm | 37mm |
| 垂直分辨率 | 8nm | 40nm | 160nm |
| 垂直精度 | 150nm | 400nm | 1.6um |
陡度 | 65o | 40o | 25o |
| 厚度測量范圍 | up to 0.3mm | up to 1.5mm | up to 6mm |
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