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快速升溫CVD系統(tǒng)

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產(chǎn)品型號HCV-1100R

品牌

廠商性質(zhì)其他

所在地上海

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更新時間：2023-07-25 07:25:47瀏覽次數(shù)：78次

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  CVD氣相沉積系統(tǒng)

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上海翰軍實驗設(shè)備有限公司

經(jīng)營模式：其他

商鋪產(chǎn)品：43條

所在地區(qū)：上海上海

聯(lián)系人：肖經(jīng)理

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產(chǎn)品簡介

一、概述：這款配置的高真空CVD系統(tǒng)集快速紅外加熱爐，2通道氣路系統(tǒng)和低真空系統(tǒng)組成

詳細(xì)介紹

一、概述：

這款配置的高真空CVD系統(tǒng)集快速紅外加熱爐，2通道氣路系統(tǒng)和低真空系統(tǒng)組成?？刂齐娐愤x用模糊PID程控技術(shù)，具有控溫精度高，溫沖幅度小，性能可靠，簡單易操作等特點。本套系統(tǒng)用于CVD退火，也可以應(yīng)用于于CVD工藝，如碳化硅鍍膜、陶瓷基片導(dǎo)電率測試、ZnO納米結(jié)構(gòu)的可控生長、陶瓷電容（MLCC）氣氛燒結(jié)等實驗。

二、主要技術(shù)參數(shù)

1200加熱爐	電壓	AC380V 50/60Hz
	功率	24KW
	加熱區(qū)長	400mm
	使用溫度	1100℃
	工作溫度	≤1000℃
	升溫速率：	≤600℃/min
	溫控系統(tǒng)	PID自動控制晶閘管（可控硅）輸出功率， 30段可編程控制器，
	恒溫精度	±5
	石英管	Φ50/60/80/100*1400mm
兩路質(zhì)量流量控制系統(tǒng)	電壓	185~24V/50Hz
	輸出功率：	18W
	流量計標(biāo)準(zhǔn)量程	300SCCM
	工作溫度：	5~45 oC
	工作壓差：	0.1～0.5 MPa
	壓力：	3Mpa
	準(zhǔn)確度：	±1.5% FS
真空系統(tǒng)	1.采用雙極旋片真空泵，真空度可達(dá)5×10-1 Torr不銹鋼充油真空壓力表，良好的抗震性 2.安裝過濾器
法蘭及支撐	304不銹鋼快速水冷法蘭，長期水冷無腐蝕一個卡箍就能完成法蘭的連接，放、取物料方便快捷可調(diào)節(jié)的法蘭支撐，平衡爐管的受力支撐包含進(jìn)氣、出氣、真空抽口針閥，KF密封圈及卡箍組合，4個密封硅膠圈等
可選配件	混氣系統(tǒng),中、高真空系統(tǒng)，各種剛玉坩堝，石英管，計算機控制軟件，無紙記錄儀，氧含量分析儀，冷卻水循環(huán)機等。