上海翰軍實(shí)驗(yàn)設(shè)備有限公司
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<ul id="qqie6"></ul> 上海翰軍實(shí)驗(yàn)設(shè)備有限公司
| 參 考 價(jià) | 面議 |
產(chǎn)品型號(hào)H-CVD-1200
品 牌
廠商性質(zhì)其他
所 在 地上海
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更新時(shí)間：2023-07-25 07:24:23瀏覽次數(shù)：129次
聯(lián)系我時(shí)，請(qǐng)告知來(lái)自 儀表網(wǎng)概述：這款配置的低真空CVD系統(tǒng)集1200℃真空管式爐，3通道氣路系統(tǒng)和真空系統(tǒng)組成，可根據(jù)用戶需要設(shè)計(jì)生產(chǎn)（有雙溫區(qū)、三溫區(qū)、多溫區(qū)），可預(yù)抽真空（有高真空、低真空），通多種氣氛（供氣系統(tǒng)有質(zhì)子流量控制器和浮子流量控制器）
概述：
這款配置的低真空CVD系統(tǒng)集1200℃真空管式爐，3通道氣路系統(tǒng)和真空系統(tǒng)組成，可根據(jù)用戶需要設(shè)計(jì)生產(chǎn)
（有雙溫區(qū)、三溫區(qū)、多溫區(qū)），可預(yù)抽真空（有高真空、低真空），通多種氣氛（供氣系統(tǒng)有質(zhì)子流量控制
器和浮子流量控制器）。真空泵、閥均采用進(jìn)口設(shè)備，性能可靠?？刂齐娐愤x用模糊PID程控技術(shù)，具有控溫
精度高，溫沖幅度小，性能可靠，簡(jiǎn)單易操作等特點(diǎn)。CVD生長(zhǎng)系統(tǒng)適用于CVD工藝，如碳化硅鍍膜、陶瓷
基片導(dǎo)電率測(cè)試、ZnO納米結(jié)構(gòu)的可控生長(zhǎng)、陶瓷電容（MLCC）氣氛燒結(jié)等實(shí)驗(yàn)。
主要技術(shù)參數(shù)：
1200雙溫區(qū)加熱爐 | 電壓 | AC220V 50/60Hz |
功率 | 4.5KW雙溫控 | |
加熱區(qū)長(zhǎng) | 220mm，恒溫區(qū)長(zhǎng)度：100mm | |
溫度 | 1150℃ | |
工作溫度 | ≤1100℃ | |
升溫速率： | ≤15℃/min | |
溫控系統(tǒng) | PID自動(dòng)控制晶閘管（可控硅）輸出功率， 30段可編程控制器 | |
恒溫精度 | ±1℃ | |
石英管 | φ 25/50/60/80*1400mm | |
三路質(zhì)量流量控制系統(tǒng)
| 電壓 | 185~245V/50Hz |
輸出功率： | 18W | |
流量計(jì)標(biāo)準(zhǔn)量程： | 50，100 ，200，500SCCM；（非特殊以氮?dú)鈽?biāo)定，量程可選定） | |
工作溫度： | 5~45 oC | |
工作壓差： | 0.1～0.5 MPa | |
壓力： | 3Mpa | |
準(zhǔn)確度： | ±1.5% FS | |
低真空系統(tǒng)
| 1.采用雙極旋片真空泵，真空度可達(dá)5×10-1 Torr不銹鋼充油真空壓力表，良好的抗震性 2.安裝過(guò)濾器 | |
內(nèi)置測(cè)溫系統(tǒng) | 測(cè)溫元件可從加熱區(qū)邊緣延伸至溫區(qū)中心法蘭密封，保證爐管的密封性測(cè)溫元件： N型熱電偶 | |
法蘭及支撐 | 304不銹鋼快速水冷法蘭，長(zhǎng)期水冷無(wú)腐蝕一個(gè)卡箍就能完成法蘭的連接，放、取物料方便快捷可調(diào)節(jié)的法蘭支撐，平衡爐管的受力支撐 包含進(jìn)氣、出氣、真空抽口針閥，KF密封圈及卡箍組合，4個(gè)密封硅膠圈等 | |
可選配件 | 混氣系統(tǒng),中、高真空系統(tǒng)，各種剛玉坩堝，石英管，計(jì)算機(jī)控制軟件，無(wú)紙記錄儀，氧含量分析儀，冷卻水循環(huán)機(jī)等。 | |
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