上海翰軍實驗設備有限公司
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<ul id="qqie6"></ul> 上海翰軍實驗設備有限公司
| 參 考 價 | 面議 |
產(chǎn)品型號H-CVD-1200S
品 牌
廠商性質(zhì)其他
所 在 地上海
聯(lián)系方式：肖經(jīng)理查看聯(lián)系方式
更新時間：2023-07-25 07:21:14瀏覽次數(shù)：100次
聯(lián)系我時，請告知來自 儀表網(wǎng)一、概述此套系統(tǒng)H-CVD-1200S前端配有可加熱到0-1000℃的蒸發(fā)器，輔助固體源蒸發(fā)，后端為雙溫區(qū)硫化爐，溫度控制精確，操作簡便
一、概述
此套系統(tǒng)H-CVD-1200S前端配有可加熱到0-1000℃的蒸發(fā)器，輔助固體源蒸發(fā)，后端為雙溫
區(qū)硫化爐，溫度控制精確，操作簡便。左端配有法蘭支撐架可將預熱器和硫化爐分開使用。
右端可配氣氛微調(diào)裝置，可以準確的反應腔體內(nèi)部的氣體壓力，帶刻度的調(diào)節(jié)閥對于做低壓
CVD非常實用，重復性好；真空機組裝有真空粉塵過濾器以保護機械式真空泵不被硫粉塵損壞。
整套系統(tǒng)可在1200℃以下的工藝溫度穩(wěn)定氣相沉積二硫化鉬等二維化合物材料。
二、設備組成
HTF-1100蒸發(fā)器，HTF-1200D雙溫區(qū)管式爐，(蒸發(fā)器與高溫反應區(qū)采用分體式)，
三、主要技術(shù)參數(shù)
蒸發(fā)器 | 型號：HTF-1100 工作溫度：室溫-1000℃ 溫度：1050℃ 升溫速率：30℃/min 推薦升溫速率：10℃/min 控溫方式：智能化30段可編程控制 工作電壓：AC220 V 額定功率：1000W 控溫精度：±1℃ 加熱元件：電阻絲 加熱區(qū)長度（mm）：150mm |
雙溫區(qū) | 型號：HTF-1200D 技術(shù)參數(shù)： 額定功率(KW):3 額定電壓(V):AC220v 50/60 Hz 溫度(℃):1200（1 hour） 持續(xù)工作溫度(℃）：1100 升溫速率（℃/min）：≤50 爐管尺寸（mm）： 高純石英管Φ50×1500mm 加熱區(qū)長度（mm）：150/300mm 恒溫區(qū)長度（mm）:100/120mm 控溫方式:模糊PID控制和自整定調(diào)節(jié)，智能化30段可編程控制，具有超溫和斷偶報警功能 控溫精度(℃):±1 加熱元件:電阻絲 |
配件 | 配真空粉塵過濾器，DN25手動蝶閥用于控制爐管內(nèi)壓力，防腐型數(shù)顯真空計，三路混氣系統(tǒng)（可選） |
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