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    上海禾早電子科技有限公司


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    Safematic CCU-010HV高真空離子濺射儀

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    更新時間:2023-06-05 09:19:13瀏覽次數:447次

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    產品簡介

    智能模塊化設計CCU-010是一種緊湊型全自動高真空離子濺射儀,同時可以通過更換靶頭作為高真空碳鍍膜機進行使用,使用非常簡單

    詳細介紹

    智能模塊化設計

       CCU-010是一種緊湊型全自動高真空離子濺射儀,同時可以通過更換靶頭作為高真空碳鍍膜機進行使用,使用非常簡單。由于的插件概念,該設備很容易配置濺射或蒸發,只需更換工藝頭。涂層前后可進行等離子處理。模塊化設計使得避免金屬和碳沉積之間的交叉污染變得容易。CCU-010有一個靜態樣品臺,包括高度調節和傾斜。它可以安裝一個可選的變速旋轉階段或旋轉行星階段,每個選擇持有不同的樣本和存根類型。在所有樣品階段,膜厚監測都作為標準。



    多樣性的真空互聯

      CCU-010HV高真空離子濺射儀覆蓋了所有性能的掃描電子顯微鏡、透射電鏡和薄膜應用。模塊化設計讓常規真空系統轉換到高真空系統非常方便。

    簡單操作、維護方便

      打開包裝,連接并啟動!即插即用的概念允許您自己啟動設備。你只需要接通電源和處理氣體。通過集成的USB服務接口,服務技術人員可以通過互聯網連接在現場或遠程運行快速錯誤分析。模塊化設置允許直接更換有缺陷的部件。

     ccu-010-局部照2.jpgccu-010-工作照2.jpg

    操作簡單、維護方便

    打開包裝,連接并啟動!即插即用的概念允許您自己啟動設備。你只需要接通電源和處理氣體。通過集成的USB服務接口,服務技術人員可以通過互聯網連接在現場或遠程運行快速錯誤分析。模塊化設置允許直接更換有缺陷的部件。

    ?自動閥門控制兩種氣體的排放過程。

    ?可選擇速度控制旋轉或行星齒輪臺,用于固定不同類型的試樣和樣品臺。

    ?視覺化設計的用戶軟件界面,具有多種一鍵功能操作。

    ?基于Windows軟件的涂層軟件LAB,可以進行數字化的涂層結構編輯。

    ?如果系統關閉或斷電(如果使用無油泵操作),您可以保持系統處于真空狀態。

    ?在斷電情況下自動排放系統的功能,防止系統受到備用泵油的污染(如果使用油封泵操作?簡單的插入式電氣和氣動接口,用于將涂層頭連接至基本單元,允許在幾秒鐘內在模塊之間進行交換。

    ?程序會自動識別并將調出所需要的菜單。




    技術指標



    外形尺寸:



    580×360×350mm


    真空測量:


    皮拉尼計和冷陰極壓力計


    儀器重量:



    32kg


    控制模式:


    自動觸摸屏Windows軟件系統


    電源要求



    100-240VAC


    靶材尺寸:


    φ54mm   


    倉室尺寸:



    φ120


    濺射電流:


    10-100mA


    真空泵:



    集成式渦輪分子泵


    濺射時間:


    ≤900s


    極限真空:


    2×10^(-6)mbar/2×10^(-4)Pa


    供氣選項:


    氬氣、氮氣、空氣等可選


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