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    Safematic CCU-010HV高真空離子濺射儀

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    智能模塊化設(shè)計(jì)CCU-010是一種緊湊型全自動(dòng)高真空離子濺射儀,同時(shí)可以通過(guò)更換靶頭作為高真空碳鍍膜機(jī)進(jìn)行使用,使用非常簡(jiǎn)單

    詳細(xì)介紹

    智能模塊化設(shè)計(jì)

       CCU-010是一種緊湊型全自動(dòng)高真空離子濺射儀,同時(shí)可以通過(guò)更換靶頭作為高真空碳鍍膜機(jī)進(jìn)行使用,使用非常簡(jiǎn)單。由于的插件概念,該設(shè)備很容易配置濺射或蒸發(fā),只需更換工藝頭。涂層前后可進(jìn)行等離子處理。模塊化設(shè)計(jì)使得避免金屬和碳沉積之間的交叉污染變得容易。CCU-010有一個(gè)靜態(tài)樣品臺(tái),包括高度調(diào)節(jié)和傾斜。它可以安裝一個(gè)可選的變速旋轉(zhuǎn)階段或旋轉(zhuǎn)行星階段,每個(gè)選擇持有不同的樣本和存根類型。在所有樣品階段,膜厚監(jiān)測(cè)都作為標(biāo)準(zhǔn)。



    多樣性的真空互聯(lián)

      CCU-010HV高真空離子濺射儀覆蓋了所有性能的掃描電子顯微鏡、透射電鏡和薄膜應(yīng)用。模塊化設(shè)計(jì)讓常規(guī)真空系統(tǒng)轉(zhuǎn)換到高真空系統(tǒng)非常方便。

    簡(jiǎn)單操作、維護(hù)方便

      打開(kāi)包裝,連接并啟動(dòng)!即插即用的概念允許您自己?jiǎn)?dòng)設(shè)備。你只需要接通電源和處理氣體。通過(guò)集成的USB服務(wù)接口,服務(wù)技術(shù)人員可以通過(guò)互聯(lián)網(wǎng)連接在現(xiàn)場(chǎng)或遠(yuǎn)程運(yùn)行快速錯(cuò)誤分析。模塊化設(shè)置允許直接更換有缺陷的部件。

     ccu-010-局部照2.jpgccu-010-工作照2.jpg

    操作簡(jiǎn)單、維護(hù)方便

    打開(kāi)包裝,連接并啟動(dòng)!即插即用的概念允許您自己?jiǎn)?dòng)設(shè)備。你只需要接通電源和處理氣體。通過(guò)集成的USB服務(wù)接口,服務(wù)技術(shù)人員可以通過(guò)互聯(lián)網(wǎng)連接在現(xiàn)場(chǎng)或遠(yuǎn)程運(yùn)行快速錯(cuò)誤分析。模塊化設(shè)置允許直接更換有缺陷的部件。

    ?自動(dòng)閥門控制兩種氣體的排放過(guò)程。

    ?可選擇速度控制旋轉(zhuǎn)或行星齒輪臺(tái),用于固定不同類型的試樣和樣品臺(tái)。

    ?視覺(jué)化設(shè)計(jì)的用戶軟件界面,具有多種一鍵功能操作。

    ?基于Windows軟件的涂層軟件LAB,可以進(jìn)行數(shù)字化的涂層結(jié)構(gòu)編輯。

    ?如果系統(tǒng)關(guān)閉或斷電(如果使用無(wú)油泵操作),您可以保持系統(tǒng)處于真空狀態(tài)。

    ?在斷電情況下自動(dòng)排放系統(tǒng)的功能,防止系統(tǒng)受到備用泵油的污染(如果使用油封泵操作?簡(jiǎn)單的插入式電氣和氣動(dòng)接口,用于將涂層頭連接至基本單元,允許在幾秒鐘內(nèi)在模塊之間進(jìn)行交換。

    ?程序會(huì)自動(dòng)識(shí)別并將調(diào)出所需要的菜單。




    技術(shù)指標(biāo)



    外形尺寸:



    580×360×350mm


    真空測(cè)量:


    皮拉尼計(jì)和冷陰極壓力計(jì)


    儀器重量:



    32kg


    控制模式:


    自動(dòng)觸摸屏Windows軟件系統(tǒng)


    電源要求



    100-240VAC


    靶材尺寸:


    φ54mm   


    倉(cāng)室尺寸:



    φ120


    濺射電流:


    10-100mA


    真空泵:



    集成式渦輪分子泵


    濺射時(shí)間:


    ≤900s


    極限真空:


    2×10^(-6)mbar/2×10^(-4)Pa


    供氣選項(xiàng):


    氬氣、氮?dú)狻⒖諝獾瓤蛇x


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