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翌穎科技(上海)有限公司
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更新時(shí)間:2019-09-24 21:50:26瀏覽次數(shù):2116次
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產(chǎn)地 | 國產(chǎn) | 加工定制 | 否 |
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Film Sense FS-1™多波長橢偏儀
LED 光源和非移動式部件橢偏探測器,可在操作簡單的緊湊型橢偏儀中實(shí)現(xiàn)快速和可靠地薄膜測量。大多數(shù)厚度 0–1000 nm 的透明薄膜只需要簡單的 1 秒測量,就可以獲得非常精密和準(zhǔn)確的數(shù)據(jù)。
Film Sense FS-1™多波長橢偏儀采用壽命長 LED 光源和非移動 式部件橢偏探測器,可在操作簡單的緊湊型橢偏儀中實(shí)現(xiàn)快速和可靠地薄膜測量。大多數(shù)厚度 0–1000 nm 的透明薄膜只需要簡單的 1 秒測量,就可以獲得非常精密和準(zhǔn)確的數(shù)據(jù)。還可以測量大多數(shù)樣品的光學(xué)常 數(shù)和其他薄膜特性。
Film Sense FS-1™多波長橢偏儀這款功能強(qiáng)大的多波長橢偏儀,售價(jià)只是單一波長橢偏儀和光譜橢偏儀的中等水平。FS-1可應(yīng)用于研究實(shí)驗(yàn)室,超凈間,原位工藝腔體以及工業(yè)質(zhì)量控制等諸多領(lǐng)域。
主要特點(diǎn)
4 個(gè) LED 光源:藍(lán)色(465nm),綠色(525nm), 黃色(580nm),紅色(635nm)
橢偏儀探測器中無可移動部件
的膜厚精密性,大多數(shù)樣品精密度優(yōu)于 0.001nm(1 秒獲取數(shù)據(jù)),對于亞單原子薄膜精密度等于0.001nm
集成計(jì)算機(jī),可實(shí)現(xiàn)對設(shè)備控制和數(shù)據(jù)分析,自帶瀏覽器界面,可兼容任何現(xiàn)代計(jì)算機(jī),筆記本或平板電腦
優(yōu)勢
壽命長(長達(dá)50,000小時(shí)),更換 LED 燈便宜,校準(zhǔn)時(shí)間短或無需PM程序
快速測量(10ms 內(nèi)獲得多波長數(shù)據(jù))和*性能穩(wěn)定
測量精確,只有橢偏儀可以實(shí)現(xiàn)
軟件設(shè)置和維護(hù)簡單
標(biāo)準(zhǔn) FS-1 配置
65°入射角
手動放置樣品和調(diào)節(jié)高度
樣品尺寸大直徑200mm 和厚度23mm
樣品偏轉(zhuǎn)范圍+/-20
樣品上光束尺寸 5 x 12 mm
結(jié)構(gòu)緊湊(180 x 400 mm) 和輕巧(4.8 kg)
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