HPG400 大氣壓至高真空真空計(jì)

INFICON 高壓熱電離皮拉尼HPG400型真空計(jì) 將高壓熱電離技術(shù)與皮拉尼傳感器整合在一個(gè)單個(gè)緊湊經(jīng)濟(jì)的裝置中，可測(cè)量 2×10-6 毫巴至大氣壓（1.5×10-6 托至大氣壓）范圍內(nèi)的壓力。 HPG400 型真空計(jì)為**的濺射過程壓力控制提供重復(fù)測(cè)量并再現(xiàn)測(cè)量數(shù)據(jù)。

益處

• HPG400 可節(jié)省成本和工具空間，降低真空系統(tǒng)安裝與設(shè)置的復(fù)雜性
• 高壓熱電離真空計(jì)可以準(zhǔn)確可靠地測(cè)量 1×10-5 … 1 毫巴范圍內(nèi)的壓力，進(jìn)而改善過程控制
• 用戶可選的熱離子發(fā)射在 5×10-2 至 1 毫巴之間啟動(dòng)
• 皮拉尼聯(lián)鎖保護(hù)熱絲，防止過早燒毀
• 備有可選的圖形顯示屏和現(xiàn)場(chǎng)總線接口
• 高真空皮拉尼自動(dòng)調(diào)節(jié)，減少操作員干預(yù)
• RoHS 合規(guī)

典型應(yīng)用

• 半導(dǎo)體制造、電子和媒介產(chǎn)業(yè)中的濺射應(yīng)用
• 工業(yè)鍍膜
• 低真空和高真空范圍內(nèi)的一般真空測(cè)量和控制