BPG400 大氣壓至超高真空真空計

BPG402-Sx 大氣壓至超高真空真空計

INFICON貝阿德-阿爾珀特皮拉尼（Pirani）BPG400型復合真空計將兩種真空計的功能融合到一個緊湊的裝置中，測量范圍從 5×10-10 毫巴至大氣壓（3.8×10-10 托至大氣壓）。 多項技術相結合降低了安裝、設置和集成的復雜性。 選擇BPG400真空計，價格經濟，且可重復測量基準壓力。

益處

• 測量范圍非常廣，從 5×10-10 毫巴至大氣壓（3.8×10-10 托至大氣壓）
• 10-8 … 10-2 毫巴過程壓力范圍內 5% 的優良可重復性
• 皮拉尼聯鎖保護貝阿德-阿爾珀特系統在高壓操作下單絲過早燒毀和過度污染
• 使用壽命長的氧化釔銥絲
• 備有可選的圖形顯示屏和現場總線接口
• 高真空皮拉尼自動調節，減少操作員干預
• RoHS 合規
• 低真空和超高真空范圍內的一般真空測量和控制

典型應用

• 對半導體過程和傳輸腔室的壓力測量
• 工業鍍膜
• 低真空和超高真空范圍內的一般真空測量和控制