“集成電路與傳感器集成制造與生產技術”通過驗收

　　【儀表儀表網 儀表上游】2018年1月31日，由江蘇無錫華潤上華科技有限公司與北京大學、東南大學、江蘇物聯網研究發展中心、中科院上海微系統所等8家單位聯合承擔的國家02科技重大專項 “集成電路與傳感器集成制造與生產技術” 項目(簡稱“MEMS專項”)在無錫華潤微電子通過項目正式驗收。
 

 

　　MEMS專項的主要研究任務和目標是重點開展集成電路與傳感器集成制造(包括芯片與MEMS制造和系統封裝)技術研發，解決并掌握與CMOS工藝線兼容的MEMS規模制造的系列關鍵技術、集成產品設計與封裝技術。建立專業化、具有規模化生產能力的硅基集成電路與MEMS傳感器開放代工平臺，實現規模生產，成為我國集成電路與傳感器集成制造、生產與服務中心，為“感知中國”建設發揮核心支撐平臺作用。
 

　　在國家02科技重大專項的大力支持下，MEMS專項通過產學研用的聯合、完整產業鏈垂直整合的方式，突破多項MEMS傳感器加工工藝的技術難點，解決了制約我國MEMS規模生產的工藝一致性、穩定性差的關鍵問題，成功建立國內與CMOS兼容的MEMS專業代工規模量產生產線，以壓力傳感器、硅麥克風、紅外傳感器等為代表的六大量產工藝平臺總產出晶圓數超6萬片，培育了20多家國內MEMS設計公司。通過項目的實施，還培養了一支層次高、專業技術能力強的人才隊伍，累計共申請了發明316件(其中27件)，已授權165件(其中5件)，建立了MEMS產品設計服務平臺，以及MEMS封裝及測試服務平臺，為促進我國MEMS自主研發體系的發展提供了很好的技術基礎。
 

　　專項驗收會議由中央候補委員、02專項辦副總師王曦院士主持，02專項辦總師葉甜春親臨現場參加項目驗收、華潤微電子陳南翔、張沈文等公司領導以及省市科技局的相關領導出席了本次會議。經過任務驗收專家組和財務驗收專家組對現場驗收資料的認真審核、質詢和討論，驗收組認為項目任務各項指標均已達到合同要求，項目支出符合相關管理規定，驗收資料齊全，以任務驗收91分的高分一致同意項目通過正式驗收。
 

　　MEMS技術是華潤上華經過近6年的努力，從無到有打造的核心特殊工藝平臺，已經成為華潤微電子在國內有影響力的一張響亮名片。此生產線的建設和工藝平臺的開發，解決了國內MEMS產業發展過程中的瓶頸制約，一方面為MEMS產品的國產化作出了重要貢獻，推動了國內MEMS產業的發展；另一方面將在公司發展過程中起著十分關鍵的作用。它不但為公司創造了良好的經濟效益，MEMS系列工藝平臺的毛利率在公司所有產品和技術中；同時也是華潤上華聚焦功率半導體和傳感器產品方向的重要基礎。
 

　　驗收總結會上，02專項辦總師葉甜春對該項目的成功實施給予了高度評價。他說MEMS項目是所有02專項項目中完成情況好的項目之一，得到這樣的評分并不多見。該項目是國家微電子產業發展戰略布局中的重要環節，華潤微電子作為項目牽頭單位，在項目實施過程中雖然遇到眾多的不解和技術難題，但通過有效地組織國內資源，持之以恒、堅持不懈地努力，終取得了良好的成效，充分反映了參與項目的科研人員對微電子事業的追求和情懷；此項目也是推動“產學研”合作的成功典范。項目整合了華潤微電子、中科院微電子所、中科院微系統所、北京大學和東南大學的資源和前期研究成果，實現了科技成果的產業化。后，他希望華潤微電子站在高處放眼未來，在更高的臺階上籌劃企業的發展，成為國內的微電子企業，為中國微電子產業的發展作出應有的貢獻。
 

　　(原標題：華潤上華承擔的“MEMS專項”通過國家正式驗收）