【儀表網(wǎng) 儀表標(biāo)準(zhǔn)】根據(jù)《安徽省環(huán)境檢測行業(yè)協(xié)會(huì)團(tuán)體標(biāo)準(zhǔn)管理辦法(試行)》相關(guān)規(guī)定，由安徽維納物聯(lián)科技有限公司等單位負(fù)責(zé)起草的《MEMS VOCS氣體傳感器技術(shù)要求》團(tuán)體標(biāo)準(zhǔn)，現(xiàn)公開征求意見。
MEMS VOC 氣體傳感器(MEMS VOC Gas Sensor) MEMS VOC氣體傳感器是基于MEMS工藝在Si基襯底微加熱板上涂覆敏感材料制備而成一種氣體傳感器。可用于檢測不同場景下VOC氣體含量。其使用的敏感材料在潔凈空氣下具有較低的電導(dǎo)率，當(dāng)傳感器處于目標(biāo)氣體環(huán)境中，傳感器的電導(dǎo)率隨空氣中被檢測氣體的濃度而發(fā)生改變。使用檢測電路即可將電導(dǎo)率的變化轉(zhuǎn)換為與該氣體濃度相對(duì)應(yīng)的輸出信號(hào)。
本文件按照GB/T 1.1—2020《標(biāo)準(zhǔn)化工作導(dǎo)則 第1部分：標(biāo)準(zhǔn)化文件的結(jié)構(gòu)和起草規(guī)則》的規(guī)定 起草。本文件由安徽維納物聯(lián)科技有限公司提出。本文件由安徽省環(huán)境檢測行業(yè)協(xié)會(huì)歸口。本文件起草單位：安徽維納物聯(lián)科技有限公司、中國科學(xué)院合肥物質(zhì)科學(xué)研究院、安徽元琛環(huán)保科技股份有限公司、安徽康菲爾檢測科技有限公司、合肥先進(jìn)產(chǎn)業(yè)研究院。
本標(biāo)準(zhǔn)參考：GB 12358 作業(yè)場所環(huán)境氣體檢測報(bào)警儀通用技術(shù)要求；GB 3836.1 爆炸性環(huán)境 第1部分：設(shè)備 通用要求；GB 3836.2 爆炸性環(huán)境 第2部分：由隔爆外殼“d”保護(hù)的設(shè)備；GB 3836.4 爆炸性環(huán)境 第4部分：由本質(zhì)安全型“i”保護(hù)的設(shè)備；GB 5170.14-85 電力電子產(chǎn)品振動(dòng)測試行業(yè)標(biāo)準(zhǔn)；GB/T 13384 機(jī)電產(chǎn)品包裝通用技術(shù)條件；JB/T 9329 儀器儀表運(yùn)輸、運(yùn)輸貯存基本環(huán)境條件和試驗(yàn)方法；IEC 60079-29-1 爆炸性環(huán)境，易燃?xì)怏w探測器的性能要求；IEC 60529 (EQV GB 4208-2008)外殼防護(hù)等級(jí)等文件編制而成。
本文件規(guī)定了MEMS VOC 氣體傳感器的產(chǎn)品分類、技術(shù)要求、試驗(yàn)方法、運(yùn)輸及貯存。 本文件適用于監(jiān)測VOC氣體的MEMS傳感器芯片本體及封裝完畢的傳感器器件。
環(huán)境要求：
1.濕度要求。對(duì)試驗(yàn)樣品進(jìn)行濕度試驗(yàn)，試驗(yàn)過程中，試樣能正常工作，且滿足4.2之要求。2.溫度要求。對(duì)試驗(yàn)樣品進(jìn)行低溫、常溫、高溫試驗(yàn)，試驗(yàn)過程中，試樣能正常工作，且滿足4.2之要求。3.大氣壓要求。對(duì)試驗(yàn)樣品進(jìn)行不同大氣壓下試驗(yàn)，試驗(yàn)過程中，試樣能正常工作，且滿足4.2之要求。
外觀要求：
a) 傳感器芯片外形、各部分尺寸及加工質(zhì)量符合圖樣規(guī)定。 b) 封裝器件符合圖樣規(guī)定，安裝牢固。 c) 封裝器件不得有龜裂、損傷、斷裂等現(xiàn)象。 d) 傳感器通電檢查時(shí)，顯示電壓和電流示數(shù)應(yīng)維持恒定范圍內(nèi)數(shù)值。
試驗(yàn)的基本條件：
1) 待測 VOC 氣體是常見的苯系物、有機(jī)氯化物、氟里昂系列、有機(jī)酮、胺、醇、醚、酯、 酸和石油烴等廣普性 VOC。 2) 環(huán)境溫度為 20±10℃。3) 環(huán)境空氣相對(duì)濕度為 50%RH±5%RH。 4) 氣體傳感器性能的常規(guī)測試所用氣體為乙醇或甲苯，干擾實(shí)驗(yàn)所用氣體包含但不僅限于 氫氣、甲烷、一氧化碳。零點(diǎn)氣體為不影響傳感器響應(yīng)值的潔凈空氣。 5) 氣體傳感器性能測試在一個(gè)靜態(tài)的系統(tǒng)進(jìn)行。通過注入的氣體或蒸汽的體積來改變待測 氣體濃度，通過測試電路反映出的電壓變化，進(jìn)行系統(tǒng)的器件性能測試。
檢驗(yàn)規(guī)則：
1.產(chǎn)品合格要求。產(chǎn)品須經(jīng)過公司質(zhì)量檢驗(yàn)部門的生產(chǎn)檢驗(yàn)合格和出廠檢驗(yàn)合格后，并附有產(chǎn)品質(zhì)量合格證后方可出 廠。 2.取樣。每一個(gè)生產(chǎn)的傳感器產(chǎn)品均需要進(jìn)行生產(chǎn)檢驗(yàn)，出廠檢驗(yàn)應(yīng)從生產(chǎn)檢驗(yàn)合格的產(chǎn)品中進(jìn)行抽檢。3.出廠檢驗(yàn)。出廠檢測包含穩(wěn)定性、響應(yīng)時(shí)間(T90)、恢復(fù)時(shí)間(T10)、響應(yīng)誤差、跌落試驗(yàn)、振蕩試驗(yàn)、濕 度試驗(yàn)、溫度試驗(yàn)、干擾氣體試驗(yàn)、敏感體電阻檢驗(yàn)。4.型式檢驗(yàn)。型式檢驗(yàn)，由質(zhì)量技術(shù)監(jiān)督部門或檢驗(yàn)機(jī)構(gòu)隨機(jī)抽取并現(xiàn)場抽樣封樣。以確定所有產(chǎn)品質(zhì)量是否全 面地達(dá)到標(biāo)準(zhǔn)和設(shè)計(jì)要求的判定。
標(biāo)識(shí)：
每一只傳感器均應(yīng)有清晰、耐久的產(chǎn)品標(biāo)識(shí)，產(chǎn)品標(biāo)識(shí)應(yīng)包括： c) 制造廠名稱或廠標(biāo)。 d) 名稱及型號(hào)。 e) 制造編號(hào)。 f) 制造日期。 g) 適用氣體種類。
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