SKY® CDG100D 電容膜片真空計- 100°C （F.S.R. 0.1 ...1000 乇 /毫巴）- 高溫應用的zhuoyue性能
INFICON SKY CDG100D 壓力計是實現(xiàn)精確總壓測量與控制的理想之選。CDG100D 真空計溫度控制在 100 °C，具有zhuoyue的性能，適用于苛刻的半導體和等離子過程。在 100 mTorr 至 1000 Torr 滿刻度范圍內均可使用，帶有所有常用類型的法蘭和現(xiàn)場總線接口，能夠提供 0 至 10 V、不受氣體類型限制的線性壓力信號。INFICON 電容式壓力計采用超純氧化鋁陶瓷隔膜，具有防腐蝕性。陶瓷傳感器具有信號穩(wěn)定性更佳、從大氣恢復的速度更快、預熱時間短和使用壽命長等諸多優(yōu)勢。INFICON CDG 壓力傳感器品質zhuoyue，jiju成本效益，適用于苛刻的半導體、等離子和真空應用。
好處
擁有成本更低，預熱速度快 50%，節(jié)能，低功耗
易于集成，各種滿刻度、法蘭和接口，標配兩個設定點
輕松一鍵歸零或遠程信號歸零指令，可調零點偏移
診斷端口便于快速服務與維護
兩年保修服務，加熱概念和真空計保護延長了使用壽命
zhuoyue的信號穩(wěn)定性和可重復性，即使是最嚴苛的等離子應用，都無需長期執(zhí)行重新校準
合規(guī)和標準：CE、EN、UL、SEMI、RoHS
新聞
現(xiàn)在提供 EtherCAT 數(shù)字接口！
典型應用
蝕刻、CVD、PVD 及其他半導體生產過程
化學和腐蝕性高溫過程
需要真空計保護的一般薄膜和真空過程
