Trigon™ BPG552ATM 至超高真空雙真空計
對于測量范圍要求從 UHV (5 x10-10) 到 ATM (1000 mbar) 的應用，Trigon™ 系列包括雙技術 BPG552 真空計。BPG552 由一個 Bayard-Alpert 熱電離傳感器元件和一個經典、堅固、可靠的皮拉尼傳感器元件組成。支持的 Bayard-Alpert 雙絲提供了精度、可重復性和使用壽命。
VacXplor 是我們的模塊化用戶軟件，旨在增強您使用 INFICON Trigon 真空計的體驗。VacXplor 提供統一的界面、動態數據可視化和高級定制選項，安裝時無需管理員權限。
優勢：
1、雙測量儀（2 個傳感元件），測量范圍寬，降低成本，節省空間
2、用于 Bayard-Alpert 系統的 2 根燈絲
3、皮拉尼互鎖保護，避免燈絲過早燒毀
4、自動高真空皮拉尼調節，減少操作員干預
5、電隔離電子元件，避免雜散電流
6、滑動排放模式，避免切換排放流時出現壓力跳躍和凍結現象
7、可移動的校準數據芯片延長了烘烤時間
8、設定點繼電器
9、明亮大屏幕 OLED 顯示屏（可 90° 旋轉），帶用戶界面
10、模擬輸出、RS232C 串行接口、EtherCAT® 接口
11、可與 VGC50x 控制器系列配合使用
12、向后兼容 BPG402
13、符合 RoHS 規范
典型應用：
1、半導體工藝中的壓力測量
2、工業鍍膜
3、低真空到超高真空范圍內系統的一般真空測量和控制 超高真空范圍
