真空相關(guān)小知識

PECVD：等離子體增強化學氣相沉積，指借助微波或者射頻波使腔室內(nèi)的反應氣體分子電離，形成的高化學活性等離子體在基片表面發(fā)生化學反應，沉積成膜。
PECVD根據(jù)等離子發(fā)射源的動作情況可分為動態(tài)和靜態(tài)。
根據(jù)設備結(jié)構(gòu)可分為鏈式、團簇式和U型。

根據(jù)射頻頻率的不同可分為RF-PECVD(13.56MHz)和VHF-PECVD（30-300MHz）

HJT設備：導質(zhì)結(jié)電池設備

PVD：物理氣相沉積（(Physical Vapour Deposition)，表示在真空條件下，采用物理方法，將材料源——固體或液體表面氣化成氣態(tài)原子、分子或部分電離成離子，并通過低壓氣體（或等離子體）過程，在基體表面沉積具有某種特殊功能的薄膜的技術(shù)。 

CVD：化學氣相沉積（Chemical Vapor Deposition）化學氣相沉積乃是通過化學反應的方式，利用加熱、等離子激勵或光輻射等各種能源，在反應器內(nèi)使氣態(tài)或蒸汽狀態(tài)的化學物質(zhì)在氣相或氣固界面上經(jīng)化學反應形成固態(tài)沉積物的技術(shù)。•簡單來說就是：兩種或兩種以上的氣態(tài)原材料導入到一個反應室內(nèi),然后他們相互之間發(fā)生化學反應，形成一種新的材料，沉積到基片表面上。•從氣相中析出的固體的形態(tài)主要有下列幾種：在固體表面上生成薄膜、晶須和晶粒，在氣體中生成粒子。

深圳市科銳詩汀科技有限公司在真空行業(yè)多年，致力于做專業(yè)事，公司有以下業(yè)務：
一、真空獲得產(chǎn)品有：
    1、美國安捷倫（Agilent Technologies)的旋片泵、干泵、羅茨泵、分子泵、分子泵機組、擴散泵、離子泵。
    2、德國普發(fā)（PFEIFFER）的旋片泵、隔膜泵、螺桿泵、泵組、羅茨泵、分子泵、分子泵機組。

    3、英國愛德華（EDWARDS）真空泵

    4、德國萊寶（LEYBOLD）真空泵

二、真空測量產(chǎn)品有：

    1、瑞士英福康（INFICON）真空計及控制器

       CDG電容膜片真空計（CDG020D、CDG025D、CDG045D、CDG100D、CDG160D、CDG200D、CDG025-C)

       BAG402 B-A型真空計

       BPG400 BPG402-S B-A型皮拉尼真空計

       HPG400高壓強熱電離型皮拉尼真空計

       BCG450 B-A型皮拉尼電容膜片真空計

       PSG500/-S PSG502-S PSG510-S PSG512-S PSG550 PSG552 PSG554皮拉尼標準真空計

       PCG550 PCG552 PCG554皮拉尼電容膜片真空計、

       PEG100潘寧真空計、

       MAG500/504 MPG500/504 MPG400/401反磁控/反磁控皮拉尼真空計、

       VGC501 VGC502 VGC503 PGD400真空顯示控制器

       PGE050 VGC031 BAG050 BAG051 BAG052 BAG053 VGC083A/VGC083B被動型真空計和控制器。

    2、美國MKS Granville-Phillips真空計及控制器

      390 Micro-lon ATM模塊

      392 Micro-lon Plus模塊

      356 Micro-lon Plus模塊

      385 Convectron ATM模塊 復合式模塊化真空計、

      275 Mini-Convectron模塊模擬量輸出型

      275 Mini-Convectron模塊DeviceNet型

      354 Micro-lon模塊

      347 Stabil-lon模塊 模塊化一體式真空計、

      307BA規(guī)控制器

      358Micro-lon規(guī)管控制器

      370 Stabil-lon規(guī)管控制器

      475 Convectron規(guī)管控制器等系列真空規(guī)管控制器、

      274 BA電離規(guī)。

三、真空檢測產(chǎn)品：

    1、瑞士英福康（INFICON）LDS2010模塊化系統(tǒng)檢漏儀（通用于集成于工業(yè)的漏測試系統(tǒng)）、Moudul1000模塊化氦檢漏儀（集成于中等自動化的檢漏臺）、UL1000 UL1000Fab UL5000氦檢漏儀、Protec p3000氦吸槍檢漏儀。

    2、瑞士英福康（INFICON）殘余氣體分析儀（RGA）和質(zhì)譜儀

       Transpector CPM3緊湊型過程監(jiān)控器

       Transpector  SPS 殘余氣體分析儀
       Transpector  XPR3+ 殘余氣體分析儀

       Transpector  MPH 殘余氣體分析儀

       Transpector  MPS 殘余氣體分析儀

       QMG 700 分析質(zhì)譜儀

四、真空輔助產(chǎn)品有：
     1、中國臺灣日揚（HTC）真空法蘭、波紋管、卡扣、中心圈、轉(zhuǎn)接頭、真空角閥、全金屬角閥、真空蝶閥、真空插板閥。
     2、瑞士英福康（INFICON）真空連接件、視窗、真空饋入件。

     3、瑞士英福康（INFICON）薄膜沉積控制產(chǎn)品

        Cygnus 2 膜厚控制儀（OLED應用）

        IC6 膜厚控制儀（光學應用）

        XTC/3膜厚控制儀

        SQC-310系列膜厚控制儀

        IQM-233膜厚控制儀插件板

        SQM160多層膜速率/膜厚監(jiān)測儀

        STM-2XM 2通道速率/膜厚監(jiān)測儀

        STM-3 可擴展的薄膜膜厚/速率監(jiān)測儀

       STM-2 USB薄膜膜厚/速率鍍層監(jiān)測儀

   4、美國MKS 質(zhì)量流量控制器 1179C GE50A。

   5、瑞士福特林（Vogtlin)

      red-y smart 智能型系列 熱式質(zhì)量流量計和控制器（精確可靠）
      red-y compact緊湊型系列 熱式質(zhì)量流量計（便捷的數(shù)字化設備）

      red-y 系統(tǒng) （OEM應用 實現(xiàn)流量測量的要求）

      Q-Flow 浮子流量計
      V-100 浮子流量計

      M-Flow 高精度調(diào)節(jié)閥

五、真空鍍膜設備

    SVACFilmLab-B箱式鍍膜機（可集成電子束、熱蒸發(fā)、磁控濺射等多個沉積模塊）

    SVAC-FilmLab-T臺式鍍膜設備（可集成熱蒸發(fā)、磁控濺射等沉積模塊）

    SVAC-FimLab-G帶手套箱式鍍膜設備（圓形蒸發(fā)源（金屬/有機交替分布）/束源爐）（鍍鈣鈦礦）

    SVAC-FimLab-C束線多腔鍍膜設備

    SVAC-UHVLab-MT材料吸氣率測試設備

    SVAC-UHVLab-IMT絕熱材料放氣率測試設備

    SVAC-PStat-80高真空分子泵機組

    SVAC-CryoLab低溫真空系統(tǒng)

    SVAC-CryoLab-TC低溫絕熱材料熱導率試驗臺

    CryoLab-OSt4低溫恒溫器

    SVAC-Sub 有機小分子升華提純系統(tǒng)（OLED材料）