μPhaes PLANO UP - 生產(chǎn)中檢測平面零件的干涉儀設(shè)備
| 緊湊、穩(wěn)定、具有成本效益的μPhase PLANO UP 干涉儀可被應(yīng)用于生產(chǎn)中，該設(shè)備占地面積小，可被放置在生產(chǎn)機器旁，使樣品在加工后能夠被直接檢測，μPhase PLANO UP向上測量平面樣品，樣品位于儀器的頂部。 |  |
主要特征
*檢測平面光學(xué)零件；
*樣品直徑：可達(dá)100mm；
*占地面積小；
*振動不敏感；
*在檢測一系列樣品時，不需要重新校準(zhǔn)；
*直觀簡便的操作。即便是不熟練的員工也能操作；
μShape干涉儀軟件
| 每個μPhase干涉儀都提供了一個應(yīng)用的μShape軟件版本。它用于測量平面、球面、圓柱面、復(fù)曲面和非球面或波陣面的形貌，適用于生產(chǎn)，實驗室和研究，附加模塊可以使軟件適應(yīng)客戶特定的需求，即使購買了μPhase系統(tǒng)，也可以隨時添加這些模塊。 該軟件控制和顯示測量結(jié)果，存儲和記錄所有測量原始數(shù)據(jù)，并確保透明度和可追溯性。 憑借其清晰的驅(qū)動用戶界面，μShape滿足各種測量要求。并提供了幾個擴展μShape功能的模塊。 |  μShape干涉儀軟件 |
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| *具有不同訪問權(quán)限的不同用戶級別； *敏感問題在線幫助； *輕松配置的模板，用于類型的測量任務(wù)和分析； *圖形窗口可以以多種格式存儲（bmp，jpg...）; *將單個參數(shù)或選定數(shù)據(jù)字段導(dǎo)出為文本，二進制貨其他常用的文件格式（例如QED，Zygo，XYZ，DigitalSurf）以進行外部處理； *測量結(jié)果以二維或三維的參數(shù)或圖形顯示為橫截面； *測量協(xié)議一目了然地顯示結(jié)果，并且可以進行廣泛配置，包括客戶徽標(biāo)。 *常用的程序功能的快捷方式； *各種程序模式允許使用集成的實時相機圖像單獨顯示校準(zhǔn)和測量過程及其參數(shù)； *使用μShape程序文件中的樣本數(shù)據(jù)存儲所有參數(shù)和設(shè)置，包括窗口大小和位置； *定期更新可持續(xù)改進，可根據(jù)要求提供軟件服務(wù)； |  |
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附加模塊
對于擴展的測量任務(wù)和進一步的分析，μShape軟件提供了各種各樣的附加模塊，如果需要，可以由用戶添加，其中包括：
*一次測量多個孔徑，例如：在拋光磨頭上；
*同時對多個孔徑進行統(tǒng)計分析；
*棱鏡和楔形測量和分析；光學(xué)設(shè)計造成的偏差；
*晶圓分析；
*靜態(tài)條紋分析可在不穩(wěn)定的環(huán)境下進行測量；
軟件附加項
Asphere分析模塊
非球面模塊在非球面設(shè)置中使用計算機生成的全息圖分析旋轉(zhuǎn)對稱的非球面，在球面設(shè)置中分析非球面，可輸入和存儲非球面數(shù)據(jù)，支持多種格式，非球面擬合能夠除去調(diào)整誤差和系統(tǒng)設(shè)置誤差。
Cylinder分析模塊
Cylinder模塊可在cylindrical設(shè)置中分析圓柱形樣品，圓柱形擬合能夠除去調(diào)整誤差。
外部接口模塊
外部接口模塊允許μShape和外部軟件之間進行通訊，如 Lab VIEW。
光纖連接模塊
光纖連接附加模塊根據(jù)IEC慣例提供PC（物理接觸）光纖連接器端面分析，一次完成主要參數(shù)的測量并可選擇顯示“通過/未通過”結(jié)果。
同質(zhì)性模塊
在這一模塊中，兩個影響通過樣品光路的參數(shù)—同質(zhì)性（折射率變化）和厚度變化能被確定。
橫向拼接模塊
借助外部控制與分析程序μStitch，您的干涉儀可以子孔徑測量較大的平面或球面樣品，并將它們拼接在一起。
數(shù)字模塊
在這個模塊中，不同的數(shù)據(jù)圖可通過數(shù)字計算分析生成附加結(jié)果圖。暫不可進行矩陣操作。
多孔徑分析模塊
該模塊能夠在一個視場范圍內(nèi)對未連接的子孔徑測量和分析，例如測量固定在拋光磨頭上的部分。
多重統(tǒng)計分析
當(dāng)樣品規(guī)格規(guī)定不同子區(qū)域的不同限制時，MultiStat模塊可在一次測量中完成相關(guān)計算，并分列出每個區(qū)域的結(jié)果。
棱體分析模塊
90°直角棱鏡的角誤差與楔角角度可通過分析角度偏差造成的干涉條紋圖樣測得。
樣品標(biāo)準(zhǔn)數(shù)據(jù)模塊
樣品標(biāo)準(zhǔn)數(shù)據(jù)能夠考慮附加的樣品誤差，例如：與設(shè)計相關(guān)的標(biāo)準(zhǔn)誤差參數(shù)。
工具補償模塊
應(yīng)用于μShppe軟件的工具補償模塊能夠補償轉(zhuǎn)臺的準(zhǔn)直誤差。
晶片模塊
晶片分析允許將矩形區(qū)域內(nèi)尺寸的圖形孔徑進一步分類，并通過算數(shù)平均值表征每個子區(qū)域。
Torus分析模塊
在Torus軟件的輔助下，附加環(huán)形樣品在toric或spherical設(shè)置中被分析，余下的調(diào)整誤差可通過環(huán)形擬合消除，適合檢測隱形眼鏡和晶片模型。
楔形分析模組
楔形分析模組使用待測樣品后的輔助鏡，可經(jīng)一次測量確定平面鏡與光學(xué)平板的楔角。
用戶定制模組
TRIOPTICS開發(fā)了軟件的干涉測量功能，并提供可定制程序，計算特定參數(shù)，依需求顯示和輸出數(shù)據(jù)，您可聯(lián)系我們滿足您的更多測量需求。
| | μPhase® PLANO UP |
| 樣品類型 | 平面 |
| 樣品尺寸 | 可達(dá)φ100mm |
| 樣品重量(MAX) | 0.5 kg |
| 校準(zhǔn)工具 | 手動 |
| 測試范圍 | 不適用 |
升級和配件
μPhase具有模塊化的系統(tǒng)，其應(yīng)用范圍可通過升級軟件與配件進行拓展，下列功能都可額外購買。
μPhase 500高分辨率
μPhase 500相機分辨率可被升級為1000 x 1000像素。該功能可在購買時或之后實現(xiàn)。
配件
多種測量鏡頭
μPhase設(shè)備都具有卡口連接功能，可實現(xiàn)不同系統(tǒng)配置之間快速和簡便的交換，使干涉儀的應(yīng)用范圍咋購買后可持續(xù)擴大。
平面、球面參考表面
各種直徑的無涂層表面或鏡面表面，以實現(xiàn)對比度和測試目標(biāo)適應(yīng)性。
分析
不直接連接μPhase硬件也可以進行離線分析和文檔管理。
