國產激光干涉儀的光路調整與精度提升的實用技巧

來源：深圳市中圖儀器股份有限公司 2025年06月13日 09:49

　　光路調整是確保國產激光干涉儀精度的關鍵步驟。如果光路未正確調整，可能會導致以下問題：

　　干涉條紋不清晰或不穩定：不良的光路對準會影響干涉圖案的清晰度，進而導致測量結果誤差。

　　信號衰減：光路的錯誤調整可能導致激光強度降低，影響探測器的信號接收，降低測量精度。

　　系統誤差：光學元件的錯位可能會引起系統誤差，使得測量結果不準確。

　　因此，正確的光路調整對保證激光干涉儀的精度至關重要。

　　要保證國產激光干涉儀的準確性，光路的每個部分都需要精確對準。以下是光路調整的一般步驟：

　　1、激光源對準

　　首先，需要確保激光源的位置和角度合適。激光束應該垂直于干涉儀的基準面，確保其朝向目標物體或反射鏡。

　　水平調整：確保激光束在水平方向上平行于基準面。

　　垂直調整：激光束應垂直于反射鏡和分光鏡的表面。通過微調激光源的高度，確保光束垂直。

　　2、分光鏡的調整

　　分光鏡是將激光束分成兩束的關鍵元件，光束的分配對干涉儀的測量至關重要。分光鏡的角度應該根據儀器的設計要求進行精確調整，確保兩束光分別照射到測量物體和參考鏡上。

　　角度調整：使用精密調整裝置調節分光鏡的角度，使其能夠準確地將激光束分成兩束，保證光束強度相等。

　　光程匹配：在調整分光鏡時，需確保兩束光的光程盡可能相等，以便干涉條紋清晰可見。

　　3、反射鏡對準

　　反射鏡的作用是將激光束反射回干涉儀的探測器。反射鏡的角度和位置精確調整，以確保反射光與參考光在探測器處重新匯聚。

　　水平與垂直調整：反射鏡需要精確調節，使反射光束返回到探測器的中心。調整反射鏡的位置，以確保激光光束的反射角度合適。

　　光束穩定性：通過反射鏡的微調，確保激光束在傳輸過程中的穩定性，避免干涉條紋的變化或消失。

　　4、探測器對準

　　探測器是激光干涉儀的最后一個關鍵部分，決定了干涉條紋的清晰度和穩定性。探測器需要精確對準，以確保接收到正確的干涉信號。

　　中心定位：探測器應該精確對準干涉光束的交匯點。確保干涉條紋集中在探測器的中心區域，以獲得信號。

　　距離調整：通過調整探測器與干涉光束的距離，優化信號接收。

　　5、逐步優化光路

　　光路調整不是一次性的操作，而是一個逐步優化的過程。在初步調整后，應該對光路進行檢查，并進行微調。可以使用測試板或標準物體進行比對，確保光路調整達到理想效果。

　　在實際使用中，除了上述標準的光路調整方法，還可以通過以下技巧來提高光路調整的精度：

　　使用干涉條紋分析儀：利用干涉條紋分析儀可以實時觀察干涉條紋的變化，幫助調整人員更快速地判斷光路是否正確。

　　微調反射鏡位置：對于精度要求較高的實驗，可以使用微調螺絲來調節反射鏡的位置，確保光路的精確度。

　　定期維護與檢查：國產激光干涉儀的長期使用可能會導致光路組件的松動或損壞，因此需要定期檢查和維護光學元件。

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