? 關于RITE
Rigaku Corporation于 2008 年在捷克首都布拉格成立了Rigaku Innovative Technologies Europe s.r.o. (以下簡稱“RITE”)，配有多個專業(yè)的X射線實驗室，作為日本理學在歐洲的 X 射線光學鏡片設計、開發(fā)和制造中心。
隨著EUV/XUV產業(yè)發(fā)展如火如荼，X射線各領域的研究也不斷深入，RITE專為這兩大類應用提供性能*的光學元件。憑借自身在X射線、極紫外光學領域多年的積累，除了承擔母公司理學在EUV/XUV、軟X射線、硬X射線等設備的研發(fā) (R&D) 任務以外，RITE秉承著開放合作的理念，也直接向的工業(yè)客戶、實驗室科研用戶提供標準或定制型EUV/X-RAY光學鏡片和高分辨間接X射線探測器等。
| RITE實驗室 | EUV Replicated Optic |
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捷克RITE基于其的復制技術 (Replication technology)，聚焦“超光滑Super Smooth”掠入射反射光學器件的研發(fā)設計，定制開發(fā)速度快，質量高，工藝水平。擁有技術的工藝，能夠商業(yè)化生產直徑達300mm、段長達250mm，組合拼接后可達1000mm的光學器件。通過復制技術制作的光學元件具有低重量、高表面精度(低斜率誤差)和低表面粗糙度等特點。全反射鏡的另一個有趣的特性是使用各種金屬層作為涂層，的材料有Ni、Au、Mo和Ru。
超高表面精度和更低的表面粗糙度
平均粗糙度 Ra (nm) | 均方根 RMS (nm) | |
10 μm × 10 μm | 0.72 | 0.91 |
1 μm × 1 μm | 0.27 | 0.34 |
Ru鍍層的微觀粗糙度:
面形誤差精度
使用Taylor – Hobson輪廓儀測量,拋光前測得RMS (Δr) = 1.14 μm，拋光后測得RMS (Δr) = 0.109 μm
更高的反射率
對于光學復制技術的擴展，RITE可以設計和生產多箔光學鏡片(MFO)。
多箔光學鏡(Multi-Foil Optics, MFO)非常適合軟X射線、EUV波段和大視場的應用，由兩組相互垂直的極薄反射鏡組成，光子通過掠入射角進行反射。可根據客戶要求快速定制開發(fā)多種形狀1D或2D的MFO（如龍蝦眼，Kirkptrick-Baez組等）。
復制鏡典型參數：
? 光譜范圍: EUV (60 – 200 eV)；軟X射線（200-2000eV）；硬X射線 (2 – 10 KeV)
? 鏡片面形: 橢球鏡（點對點聚焦），拋物面鏡（平行光束），也可根據需求定制其他面形
? 光學面材料: Au, Ni, Ru等
? R ≥50%
? 典型表層粗糙度: Ra≈1- 2 nm
? 典型尺寸: 直徑D = 5 – 250 mm；長度L=10-140mm
成像幾何
加工鏡片示例：
性能展示
MFO多箔光學鏡 (龍蝦眼，KB鏡組) -EUV/SXR大視場
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加工鏡片示例
性能展示：
MFO橢圓 KB系統 | |
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焦點細節(jié) |
 激光驅動氙氣和氪氣極紫外輻射的聚焦光斑強度分布。 |
幾何構型 |
龍蝦眼鏡片 | |
? 能量范圍5 - 10 keV ? 焦長: 1 000 - 1 200 mm ? 倍率: ~ 1:1 ? 視場: 2° ?聚焦光斑尺寸: ~ 0.5 mm ?外形尺寸: 30 x 30 x 65 mm ?口徑: 18 x 18 mm ? 鍍金鏡片 ? 鏡片間距0.3 mm ?鏡片間自由空間 (前視): 56% |
聚焦細節(jié)(FWHM = 19 arcmin)，光源80µm， 8kev, MEDIPIX2探測器(CTU)。 |
水窗、極紫外顯微
X射線光電子能譜
X射線顯微成像
極紫外光刻
