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    • 滑動式雙溫區(qū)PECVD

    OTF-1200X-Ⅱ-4CV-PE-SL-UL 滑動式雙溫區(qū)PECVD

    參考價
    面議
    具體成交價以合同協(xié)議為準
    • 型號OTF-1200X-Ⅱ-4CV-PE-
    • 品牌
    • 所在地上海市
    • 更新時間2023-05-02
    • 廠商性質(zhì)經(jīng)銷商
    • 所在地區(qū)上海市
    • 實名認證已認證
    • 產(chǎn)品數(shù)量437
    • 人氣值1012
    產(chǎn)品標簽

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    OTF-1200X-1I-4CV-PE-SL是一款滑動式雙溫區(qū)PECVD 管式爐系統(tǒng)。該系統(tǒng)包含等離子射頻電源,80mm 0D1800mm L的滑動式雙溫區(qū)管式爐,4通道質(zhì)量流量供氣系統(tǒng)和機械泵機組,可用于生長納米或石墨烯材料。
    滑動式雙溫區(qū)PECVD 產(chǎn)品詳情

    產(chǎn)品特點:

    射頻電源可實現(xiàn)等離子增強從而顯著降低實驗溫度;

    滑軌式可快速加熱和快速冷卻;

    兩個加熱區(qū),溫度梯度可達 200°c;

    可在溫度范圍較大的條件下制備材料,如碳、Zn0納米管或納米線及單層石墨烯等。

    加熱爐參數(shù):

    溫度:1200°C<30min),連續(xù)工作溫度:1100℃;

    兩個PID溫度控制器及30段可編程溫控系統(tǒng);

    輸入功率:208-240V,單相,功率:3KW;

    高純氧化鋁纖維保溫層可以限度降低能耗;

    爐體開啟式設(shè)計,以達到對樣品快速降溫,方便更換爐管。

    射頻電源:

     

    image.png 

    真空系統(tǒng):

    •·采用TRP-12的雙旋真空泵;

    • KF25卡箍及波紋管用于連接管式爐與真空泵;

    真空度可達10-2Torr。

    供氣系統(tǒng)(可選):

    客戶可選購四通道質(zhì)子流量計控制系統(tǒng)實現(xiàn)氣體流量的精確控制(精確度:±0.02%;

    流量范圍:

    image.png 

    電壓:208-240VAC, 50/60Hz;

    氣體進出口配件:6mm OD的聚四氟管或不銹鋼管;

    不銹鋼針閥用于手動控制氣體進出;

    • PLC觸摸屏可以簡便地進行氣體流量設(shè)置。

    產(chǎn)品尺寸和重量:

    設(shè)備總體尺寸:2200mmL 800mmW 1500mmH

    凈重:610kg

    注意:

    采用氬氣高于射頻功率200W情況下,需特殊說明:設(shè)備需要特殊改造幾測試,(有法蘭過熱情況)

    質(zhì)保:

    一年保質(zhì)期,終身維護,不包括爐管,硅膠密封圈和加熱元件

    因使用腐蝕性氣體和酸性氣體造成的損害不在保修范圍內(nèi)


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