產品特點：
•真空法蘭在手套箱的左邊，與PECVD系統的石英管連接；
•兩個爐體在一個滑軌上，可通過爐體的滑動達到對樣品快速加熱和快速冷卻的效果!
加熱爐參數：
•連續工作溫度：1100℃
•兩個爐體都可設置30段升降溫程序
•高純氧化鋁纖維作為爐膛材料（表面涂有高溫氧化鋁涂層，可提高加熱效率延長爐膛使用壽命）
•電源：AC220，50Hz 功率：3KW
手套箱參數:
•帶有除水系統：保持水含量< 2 ppm
•真空法蘭在手套箱的左邊，與PECVD系統的石英管連接
射頻電源：
真空系統：
•·采用TRP-12的雙旋真空泵；
• KF25卡箍及波紋管用于連接管式爐與真空泵；
•真空度可達10-2Torr。
供氣系統（可選）：
•客戶可選購四通道質子流量計控制系統實現氣體流量的精確控制（精確度：±0.02%）;
•流量范圍：
•電壓：208-240V， AC， 50/60Hz；
•氣體進出口配件：6mm OD的聚四氟管或不銹鋼管;
•不銹鋼針閥用于手動控制氣體進出；
• PLC觸摸屏可以簡便地進行氣體流量設置。
產品尺寸：
爐體尺寸：1600mm(L) -430mm(W)-500mm(H)
手套箱尺寸：780mm(L)-700mm(W)-650mm(H)
質保：
一年保質期，終身維護，不包括爐管，硅膠密封圈和加熱元件
