| 設備名稱 | 滑動式雙溫區PECVD系統——OTF-1200X-II-4CV-PE-SL （2019.12.23—科晶實驗室審核） | ||||||||||||||||||||||||||||||||
| 產品提示 | 1、多種配件可選提示 2、特殊設備尺寸設備 3、科晶實驗室邀請提示 4、配件妥善保管提示 | ||||||||||||||||||||||||||||||||
| 產品特點 | ? 射頻電源可實現等離子增強從而顯著降低實驗溫度； ? 滑軌式可快速加熱和快速冷卻； ? 兩個加熱區，溫度梯度可達 200oC； ? 可在溫度范圍較大的條件下制備材料，如碳、ZnO納米管或納米線及單層石墨烯等。 | ||||||||||||||||||||||||||||||||
| 加熱爐參數 | ? 溫度：1200oC（<> ? 兩個PID溫度控制器及30段可編程溫控系統； ? 輸入功率：208-240V，單相，功率：2.5KW； ? 高純氧化鋁纖維保溫層可以限度降低能耗； ? 爐體開啟式設計，以達到對樣品快速降溫，方便更換爐管。
多參數請聯系科晶銷售部 | ||||||||||||||||||||||||||||||||
| 射頻電源 | ? 科晶公司現有不同功率的射頻電源可供選擇，以滿足不同實驗條件的需求。
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| 真空系統 | ? 采用TRP-12的雙旋真空泵； ? KF25卡箍及波紋管用于連接管式爐與真空泵； ? 真空度可達10-2Torr。
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| 供氣系統 | ? 四通道質子流量計控制系統可實現氣體流量的精確控制（精確度：±0.02%）； ? 流量范圍:
? 電壓：208-240V， AC， 50/60Hz； ? 氣體進出口配件：6mm OD的聚四氟管或不銹鋼管； ? 不銹鋼針閥用于手動控制氣體進出； ? PLC觸摸屏可以簡便地進行氣體流量設置。
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| 產品尺寸和重量 | ? 設備總體尺寸：2200mm L′800mm W′1500mm H ? 凈重：110kg ? 運輸重量：230kg
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| 認證 | ? CE認證 ? 所有電器元件通過 UL / MET / CSA認證 ? 如您另外付費，我們可以保證單臺儀器的TUV(UL61010)或CSA 認證
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| 國家 | ? 名稱：可組合式等離子增強化學氣相沉積裝置 ? 編號：ZL-2011-2-0355777.1 ? 尊重創新、鄙視抄襲、侵權必究 | ||||||||||||||||||||||||||||||||
| 承諾 | ? 一年質保期，終身維護（不包括爐管、硅膠密封圈和加熱元件） ? 因使用腐蝕性氣體和酸性氣體造成的損害不在保修范圍內。 |
