FT1230深能級瞬態譜儀是分析測試半導體材料和器件的摻雜濃度、缺陷能級位、界面態(俘獲界面)等半導體性質的重要測試儀器。
Phystech FT1230 HERA-DLTS
High Energy Resolution Analysis Deep Level Transient Spectroscopy
PhysTech FT1230 HERA-DLTS
高能分辨率深能級瞬態譜
PhysTech在1990年推出了臺數字DLTS，隨著電腦技術的發展，使得在短時間內進行復雜計算成為可能。在純指數發射過程模型的基礎上，用各種數學模型分析測量到的瞬態過程，如傅里葉轉換、拉普拉斯轉換、多指數瞬態擬合、ITS（等溫瞬態光譜）信號重疊法、溫度掃描信號重疊法（重折疊）。與其他系統相比，HERA-DLTS具有的能量分辨率。
特 點：
自動接觸檢查
常規測試和加強軟件
自動電容補償
三終端FET電流瞬態測量
大電容和濃度范圍
靈活性高、模塊化硬件
支持各種冷卻倉和溫度控制器
傅里葉轉換（F-DLTS），比例窗口和用戶自定義校正功能
DLTFS（深層瞬態傅里葉光譜儀）評價
操作模式：
C-DLTS
CC-DLTS
I-DLTS
DD-DLTS
Zerbst-DLTS
O-DLTS
FET-Analysis
MOS-Analysis
ITS（等溫瞬態譜）
缺陷分析
俘獲截面測量
I/V, I/V(T)
C/V, C/V(T)
TSC/TSCAP
PITS（光子誘導瞬態譜）
DLOS(特殊系統) Fourier 變換, Laplace 變換，指數擬合分析，ITS (等溫瞬態譜)，信號重褶皺，溫度掃描信號重褶皺.
