FTS超精密加工壓電定位平臺(tái)采用了無(wú)空行程的金屬?gòu)椥宰冃螜C(jī)構(gòu)，以及5-6 倍的壓電陶瓷變形放大機(jī)構(gòu)。并采用我公司的超精密加工技術(shù)進(jìn)行生產(chǎn)制造。
FTS超精密加工壓電定位平臺(tái)特點(diǎn)：
?采用了*的數(shù)字位移傳感器，可實(shí)現(xiàn)高精度·高剛性·高速度的壓電陶瓷平臺(tái)。
?采用壓電陶瓷作為驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)，環(huán)控制時(shí)的行程為90μm?100μm，理論分辨率達(dá)1nm。和開(kāi)環(huán)控制相比，閉環(huán)控制時(shí)的大行程會(huì)少20%左右。
?位置檢測(cè)采用了數(shù)字位移傳感器（頻率→數(shù)字變換方式的微小位移傳感器），閉環(huán)控制時(shí)的顯示分辨率為10nm。
?使用FINE系列控制器，可實(shí)現(xiàn)高速定位。
?重復(fù)驅(qū)動(dòng)SFS-H（直動(dòng)）系列平臺(tái)，可達(dá)10?15Hz的頻率。使用FINE-01γ的 模擬信號(hào)驅(qū)動(dòng)時(shí)，可達(dá)25Hz。
應(yīng)用：
光纖端面檢測(cè) 聚焦顯微成像電化學(xué)加工3D錫膏檢測(cè) 精密定位 精密加工光纖對(duì)接
指標(biāo)
| 行程（開(kāi)環(huán)控制時(shí)） | 90μm±15％ |
| 臺(tái)面尺寸 | 40×40mm |
| 驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu) | 壓電陶瓷 |
| 自重 | 0.28kg |
| 理論分辨率（開(kāi)環(huán)時(shí)） | 1nm |
| 分辨率（閉環(huán)時(shí)） | 10nm |
| 直線性誤差 | ＜0.3％ |
| 垂直度（水平方向） | 1μm |
| 重復(fù)定位精度 | ＜0.1μm |
| 承載能力 | 9.8N（1.0kgf） |
| 微小位移傳感器 | 數(shù)字位移傳感器 |
| 適用電纜 | 電纜（2m）附屬 |
上海納動(dòng)納米位移技術(shù)有限公司（簡(jiǎn)稱“納動(dòng)納米”、“NanoMotions”），坐落于上海漕河涇新興技術(shù)開(kāi)發(fā)區(qū)，是一家專業(yè)集精密機(jī)械、精密驅(qū)動(dòng)、精密傳感、精密控制、精密測(cè)量、精密光學(xué)等各領(lǐng)域的技術(shù)于一體的*，專注于超精密納米級(jí)定位及運(yùn)動(dòng)控制技術(shù)與產(chǎn)品的開(kāi)發(fā)，并致力于創(chuàng)新開(kāi)發(fā)壓電微米定位、壓電納米定位、壓電定位控制及測(cè)量等設(shè)備提供系統(tǒng)的技術(shù)解決方案，滿足于國(guó)內(nèi)外市場(chǎng)對(duì)超精密納米級(jí)定位及運(yùn)動(dòng)控制技術(shù)需求的專業(yè)研發(fā)制造商。
上海納動(dòng)納米位移技術(shù)有限貴公司自主研發(fā)的產(chǎn)品涵蓋壓電陶瓷元件、疊堆壓電陶瓷、封裝型壓電陶瓷/促動(dòng)器、納米級(jí)精密定位臺(tái)/掃描臺(tái)、壓電納米定位平移臺(tái)/升降臺(tái)/偏擺臺(tái)/旋轉(zhuǎn)臺(tái)、納米級(jí)光束偏轉(zhuǎn)鏡、納米級(jí)顯微掃描平臺(tái)、納米級(jí)物鏡聚焦/掃描器、納米級(jí)紅外微掃描器、壓電微操作鉗、壓電微分頭、壓電馬達(dá)/電機(jī)、壓電螺旋促動(dòng)器、壓電點(diǎn)膠閥、壓電機(jī)床微進(jìn)給平臺(tái)、六軸并聯(lián)微位移定位系統(tǒng)、高精度位移傳感器、壓電陶瓷驅(qū)動(dòng)/控制器、高精度微位移測(cè)量系統(tǒng)等系列產(chǎn)品。
