PF壓電物鏡定位臺行程80微米是專門為聚焦顯微而設計的,采用無回差柔性鉸鏈并聯導向結構設計,物鏡補償量小,具有超高聚焦穩定性,物鏡定位器裝入顯微檢測/測量或者觀測裝置可以帶動鏡片聚焦提高精度,可與多種高分辨率的顯微鏡配合使用。
PF壓電物鏡定位臺行程80微米主要特點:
- 亞納米的分辨率
- 高的帶寬
- 高速響應
- 高的可靠性
- 壓電陶瓷驅動
- 柔性鉸鏈設計
- 電容位移傳感器閉環反饋
- 雙傳感器設計
應用:
晶圓切割•生物顯微•白光干涉• 原子力顯微鏡•差動聚焦檢測系統•顯微光學成像
■ 技術數據
產品型號 | PFV**-80U(小負載型) | PFV**-80U-S(小負載型) | 公差 | |
運動自由度 | Z | Z | - | |
傳感器類型 | - | Strain Gage | - | |
標稱行程范圍(@0~+120V) | 80 μm | 80 μm | ±20% | |
zui大行程范圍(@-20~+150V) | 100 μm | 100 μm | ±20% | |
分辨率 | 2.5 nm | 5 nm | typ. | |
重復定位精度 | - | 0.05% F.S. | typ. | |
線性度 | - | 0.1% F.S. | typ. | |
承載能力 | 2 N | 2 N | Max. | |
剛度 | 1.3 N/μm | 1.3 N/μm | ±20% | |
諧振頻率 | 0g | 330 Hz | 330 Hz | ±20% |
靜電容量 | 3.4 μF | 3.4 μF | ±20% | |
工作溫度范圍 | -10~+70 ℃ | -10~+70 ℃ | - | |
驅動電壓范圍(*)1 | 0~+120 V | 0~+120 V | typ. | |
線纜長度 | 1.5 m | 1.5 m | ±10mm | |
外形尺寸(LxH) | 48×40×16.5 mm(不含適配器) | 48×40×19 mm(不含適配器) | - | |
重量 | 150 g | 150 g | ±5% | |
本體材質2 | 鋼(W) | 鋼(W) | - |
說明:
1.zui大驅動電壓可在-20V~+150V使用;*使用建議在0~120V驅動電壓下可延長使用壽命。
2.表面處理:白色(W)/黑色(B)。