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    PF壓電物鏡定位臺行程80微米-電子/半導體檢測儀器

    參考價
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    具體成交價以合同協議為準
    • 型號
    • 品牌
    • 所在地上海市
    • 更新時間2018-06-28
    • 廠商性質生產廠家
    • 所在地區上海市
    • 實名認證已認證
    • 產品數量160
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    產地國產 加工定制
    PF壓電物鏡定位臺行程80微米是專門為聚焦顯微而設計的,采用無回差柔性鉸鏈并聯導向結構設計,物鏡補償量小,具有超高聚焦穩定性,物鏡定位器裝入顯微檢測/測量或者觀測裝置可以帶動鏡片聚焦提高精度,可與多種高分辨率的顯微鏡配合使用。
    PF壓電物鏡定位臺行程80微米-電子/半導體檢測儀器 產品詳情

         PF壓電物鏡定位臺行程80微米是專門為聚焦顯微而設計的,采用無回差柔性鉸鏈并聯導向結構設計,物鏡補償量小,具有超高聚焦穩定性,物鏡定位器裝入顯微檢測/測量或者觀測裝置可以帶動鏡片聚焦提高精度,可與多種高分辨率的顯微鏡配合使用。

     PF壓電物鏡定位臺行程80微米主要特點:

    • 亞納米的分辨率
    • 高的帶寬
    • 高速響應
    • 高的可靠性
    • 壓電陶瓷驅動
    • 柔性鉸鏈設計
    • 電容位移傳感器閉環反饋
    • 雙傳感器設計

    應用:

    晶圓切割•生物顯微•白光干涉• 原子力顯微鏡•差動聚焦檢測系統•顯微光學成像

    ■   技術數據

    產品型號

    PFV**-80U(小負載型)

    PFV**-80U-S(小負載型)

    公差

    運動自由度

    Z

    Z

    -

    傳感器類型

    -

    Strain Gage

    -

    標稱行程范圍(@0~+120V)

    80 μm

    80 μm

    ±20%

    zui大行程范圍(@-20~+150V)

    100 μm

    100 μm

    ±20%

    分辨率

    2.5 nm

    5 nm

    typ.

    重復定位精度

    -

    0.05% F.S.

    typ.

    線性度

    -

    0.1% F.S.

    typ.

    承載能力

    2 N

    2 N

    Max.

    剛度

    1.3 N/μm

    1.3 N/μm

    ±20%

    諧振頻率

    0g

    330 Hz

    330 Hz

    ±20%

    靜電容量

    3.4 μF

    3.4 μF

    ±20%

    工作溫度范圍

    -10~+70 ℃

    -10~+70 ℃

    -

    驅動電壓范圍(*)1

    0~+120 V

    0~+120 V

    typ.

    線纜長度

    1.5 m

    1.5 m

    ±10mm

    外形尺寸(LxH)

    48×40×16.5 mm(不含適配器)

    48×40×19 mm(不含適配器)

    -

    重量

    150 g

    150 g

    ±5%

    本體材質2

    鋼(W)

    鋼(W)

    -

    說明:

    1.zui大驅動電壓可在-20V~+150V使用;*使用建議在0~120V驅動電壓下可延長使用壽命。

    2.表面處理:白色(W)/黑色(B)。

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