TMAH濃度計(jì)監(jiān)測(cè)儀HE-960H-TM

TMAH濃度計(jì)監(jiān)測(cè)儀HE-960H-TM適用于顯影液中TMAH的濃度管理HE-960TM可精確測(cè)量半導(dǎo)體和液晶生產(chǎn)中光阻顯影藥液制程中主要成份TMAH (四甲基氫氧化銨)的濃度。傳感器具有寬泛的量程和高耐藥性。4-極式炭質(zhì)傳感器具有顯著的耐藥性。

其對(duì)偶電路和軟件與4-極式炭質(zhì)傳感器相結(jié)合測(cè)量范圍可達(dá)0至1000mS/cm而無(wú)需切換。由于具有兩種濃度轉(zhuǎn)換功能，所以可將其作為過(guò)程濃度計(jì)使用，也可監(jiān)測(cè)特定化學(xué)藥液中的濃度變化。

特征

• 大量程適用

自動(dòng)小數(shù)點(diǎn)位調(diào)整能夠測(cè)量的TMAH量程從0.000至10.00%。

• 自動(dòng)顯示范圍切換

從高至低濃度顯示范圍自動(dòng)切換。當(dāng)維持有效的電導(dǎo)率分辨率是也可使用該產(chǎn)監(jiān)測(cè)變化

• 可測(cè)3種數(shù)值：TMAH濃度值、電導(dǎo)率計(jì)和溫度

當(dāng)基于相關(guān)溫度特性數(shù)據(jù)補(bǔ)償溫度時(shí)測(cè)量TMAH濃度。本機(jī)也可用于測(cè)量其它化學(xué)藥液的電導(dǎo)率。

• 耐藥性4-極炭質(zhì)傳感器

采用了新型的使用高耐藥性玻璃碳材料的FES-510系列4-極式流通型傳.

• 4-通道傳送輸出

本機(jī)配有4個(gè)輸出通道，所以可分別用于TMAH溫度、電導(dǎo)率和溫度。可從2個(gè)類型的輸出電流中進(jìn)行選擇：4至20 mA DC, 或 0 至 20 mA DC.

• 24 V DC 電源

   

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