BHF濃度計監(jiān)測儀 CS-137

BHF濃度計監(jiān)測儀 CS-137

BHF濃度計監(jiān)測儀 CS-137高精度化學(xué)藥液濃度計專為半導(dǎo)體制造時清洗制程中所使用的BHF溶液而設(shè)計。實現(xiàn)了過去所沒有的高速響應(yīng)性和小巧化，可用于監(jiān)測硅氧化膜的蝕刻以及晶片表面的微粒清除作業(yè)時所使用的BHF溶液(NH4F/HF/H2O)中的各成分濃度。依據(jù)濃度計的輸出而進行的反饋控制，可以確保BHF溶液的濃度保持在允許范圍內(nèi)，同時，還可以避免不必要的藥液更換工作。

特征

• 監(jiān)測周期大約為3秒，支持300mm工藝的濃度管理。

實現(xiàn)了以大約3秒這樣短的測量周期，大幅提高了濃度的實時跟蹤性。支持向批次式和單槽式清洗裝置定時反饋濃度信息。

• 小巧設(shè)計有利于清洗裝置節(jié)省空間

底面面積只有原先的2/3(*)左右，這樣的小巧化設(shè)計有利于清洗裝置節(jié)省空間。可以很容易地組裝到清洗裝置中。
*與本公司產(chǎn)品CS-327比較

• 通過減少清洗工藝中的批次不良，提高產(chǎn)量

通過濃度計的信號輸出，進行BHF溶液的補給控制，從而實現(xiàn)高再現(xiàn)性的清洗。減少清洗工藝中的批次不良，從而推進產(chǎn)量的全面提高。

• 全自動監(jiān)測與簡易控制

用戶只需引入BHF溶液即可。監(jiān)測是全自動方式，因此開始監(jiān)測后不需要進行任何控制。另外由于參照光譜測量時使用的是空氣，也可以測量水的濃度，從而可以跟蹤水因溶液蒸發(fā)和附著到晶圓而應(yīng)起的濃度變化。這樣有利于二氧化硅的調(diào)整控制。