SC-1濃度計監測儀 CS-131

SC-1濃度計監測儀 CS-131

SC-1濃度計監測儀 CS-131是半導體制造中清洗工藝的SC-1溶液用于高精度藥液濃度的監測儀，實現了過去所沒有的高速響應性和小巧化。可以常時間的監測微粒以及有機物的清除作業中所使用的SC-1溶液(NH3/H2O2/H2O)各成分濃度。通過使用監測輸出的回收控制，可以確保SC-1溶液的濃度在允許范圍內，同時，還可以避免不必要的更換藥液工作。并且，冷卻器一體型也進入了產品陣容內，可適用較大范圍的樣品溫度。

特征

監測周期大約為2秒，支持300mm工藝的濃度管理
實現了以大約2秒為監測周期(※)的高速響應。支持向批次式和單槽式清洗裝置定時反饋濃度信息。(※不包含藥液的置換時間、冷卻時間)

小巧化設計有利于節省清洗裝置的空間
由于底面面積只有原來的2/3(※)左右，這種小巧化設計有利于清洗裝置節省空間。可以很容易地組裝到清洗裝置中。
(※和本公司產品CS-220系列進行比較)

通過減少清洗工藝中的批次不良，提高產量
通過濃度計的信號輸出，進行SC-1溶液的補給控制，從而實現高再現性的清洗。減少清洗工藝中的批次不良，從而推進產量的全面提高。

全自動監測與簡易控制
用戶只需引入SC-1溶液即可。監測是全自動方式，因此開始監測后不需要進行任何控制。另外，由于參照光譜測量時使用的是空氣，所以不需要用水。