化學藥液濃度計 CS-600F

化學藥液濃度計 CS-600F

化學藥液濃度計 CS-600F實現了更高標準的功能，旨在更好的適應生產制造，實現半導體濕法工藝對化學藥液濃度更精準的管理。比如在多種不同應用中的在線監測高溫化學藥液，更安全的減少停機時間操作，更輕便的尺寸節約占地面積。藥液濃度計擁有更好的性能去監測混酸中的各個成分，包括高精*半導體制程中所需的各種化學藥液。通過改進HORIBA的光譜分析測量法，實現了5倍的監測性能提升。提高質量控制能有效改進半導體工藝流程。

通過采取全面的氣泡對策，可監測高溫樣品

在脫泡槽中分離氣泡，在監測過程中進一步利用電磁閥把氣泡混入監測單元內的發生次數抑制在zui低限度。并且，如果是冷卻器一體型產品，則可以直接倒入高溫度樣品至濃度計。溫度補償將自動進行。

采用DC24V，實現高安全性
電源采用DC24V低壓電，提高了安全性以避免觸電事故的發生。并且，由于內置漏水傳感器，在發生漏水時可以切斷SC-1溶液的供應等，采取緊急措施

全自動監測與簡易控制
用戶只需引入SC-1溶液即可。監測是全自動方式，因此開始監測后不需要進行任何控制。另外，由于參照光譜測量時使用的是空氣，所以不需要用水。