數字式質量流量控制器SEC-N100 系列

數字式質量流量控制器SEC-N100 系列

數字式質量流量控制器SEC-N100 系列在這些制造工藝中，對各種氣體的流量進行準確的測量和控制顯著地提高了工作效率，進而節約了能源和提高了生產力。HORIBA STEC致力于質量流量計的發展，為*的制造工藝，包括半導體、光電和LED的制造提供服務，并將繼續開發新的產品來滿足客戶的需求。在這些制造工藝中，對各種氣體的流量進行準確的測量和控制顯著地提高了工作效率，進而節約了能源和提高了生產力。HORIBA STEC致力于質量流量計的發展，為*的制造工藝，包括半導體、光電和LED的制造提供服務，并將繼續開發新的產品來滿足客戶的需求。

特征：高精度（設定點為基準）MFC的線性度將由近似多項式曲線進行補償。這幫助實現了對所有流量控制范圍的高精度控制。為了實際氣體流量的準確性進一步提高，各種工藝氣體的校準數據將按照HORIBA STEC標準的氣體測量系統進行校驗。

整個流量控制范圍內都可實現高響應速度

1秒高速響應搭載了開發的“可變PID系統”，對于所有設置點它可以實現1秒內的高響應速度。當您改變標定滿量程和氣體種類時，可變PID將根據當下的設定點不斷變化，其PID參數也將隨之被優化。    

SEC-N102 系列:數字式信號傳輸，RS485 F-NET協議，模擬式信號傳輸，?0～5VDC

SEC-N104 系列：DeviceNet 信號傳輸，遵照ODVA標準

SEC-N106 系列：PROFIBUS 信號傳輸，模擬式信號傳輸，?0 至 5VDC, 0 至 10VDC　4 至 20mA