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    TOYOKOKAGAKU東橫化學清洗機M300

    參   考   價: 1536

    訂  貨  量: ≥1 臺

    具體成交價以合同協議為準

    產品型號

    品       牌其他品牌

    廠商性質經銷商

    所  在  地深圳市

    更新時間:2023-05-19 12:13:13瀏覽次數:1752次

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    王小姐

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    產地 進口 加工定制
    TOYOKOKAGAKU東橫化學清洗機M300
    SiC功率器件熱處理設備Ailesic-2000,Ailesic-1400,Ailesic-1500,Ailesic-1700,Ailesic-X
    清洗機M300,M800;ALD設備SAL1000

    TOYOKOKAGAKU東橫化學清洗機M300

    TOYOKOKAGAKU東橫化學清洗機M300

    SiC功率器件熱處理設備Ailesic-2000,Ailesic-1400,Ailesic-1500,Ailesic-1700,Ailesic-X

    清洗機M300,M800ALD設備SAL1000

    活化退火設備Ailesic-2000特征:

    支持2000°CSiC激活退火。

    新開發的加熱技術實現了超快速加熱和冷卻特性。

    滿足客戶對小批量短時間處理的需求。

    通過相同的加熱技術和高精度溫度控制技術實現穩定的工藝性能,有助于穩定生產。

    從開發到6英寸高產能量產的豐富陣容。

    在大規模生產工廠中的良好運營記錄。

    應用:活化退火。

    CMP漿料供應系統的特點:

    并聯供電系統穩定供電。通過觸摸屏輕松操作。

    高精度復合(可從多種復合方式中選擇復合方式。)。

    自動沖洗功能。透明內膽,內部狀態一目了然。

    化學恒流量控制裝置概述:

    化學恒流控制裝置主要用于CMP漿料的供給,也可用于純水、氫氟酸等多種化學物質的混合。

    與傳統的使用稱量罐和混合罐的批量式供應設備相比,該機組具有:

    1. 在線混合限度地減少化學品消耗

    2. 批量供應設備無需清洗罐

    3. 設備尺寸可以減小

    M300是一款半自動FOUP/carrier 清洗機,結構緊湊,可一次處理大量工件。可處理晶圓載具、SMIF POD、各種傳送箱、300mmFOUPFOSBRSP及各種工件。這是一種批量處理型清潔/干燥設備,其中工件被設置在安裝在腔室內被稱為柱的架狀框架上的插入物中,然后在旋轉的同時進行清潔和干燥。刀片的形狀因工件而異,只需輕輕一按即可更換,因此可輕松切換對象工件。

    特征:高容量/小占地面積。

    超凈噴霧系統。擁有成本低。

    用于干燥的紅外線加熱器系統。

    通過一鍵式更換刀片支持各種工件。

    SAL1000 ALD設備是一款可安裝在桌面上的緊湊型研發設備。

    內置兩種前驅體,沉積性能在φ100以內±3%AlO3)以內。

    此外,通過使設備更緊湊,我們減少了零件數量。

    特征:

    沉積過程可以在前觸摸屏上設置,壓力和操作狀態可以檢查。

    從抽真空到成膜的設定過程自動進行,成膜完成后,按下排氣按鈕即可取出基板。

    配備2個前驅體系統,兼容基板高達φ4"

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