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| 測頭類型 | F | N | |
| 工作原理 | 磁感應 | 渦流 | |
| 測量范圍(µm) | 0～1250 | 0～1250其中：銅上 鍍鉻(0～40) | |
| 低限分辨力(µm) | 0.1 | 0.1 | |
| 示值 誤差 | 一點校準(um) | ±(3%H+1) | ±(3%H+1.5) |
| 二點校準(µm) | ±[(1～3)%H+1] | ±[(1～3)%H+1.5] | |
| 測試 條件 | *小曲率半徑(mm) | 凸 1.5 | 凸3 |
| *小面積的直徑(mm) | Φ7 | Φ5 | |
| 基體臨界厚度(mm) | 0.5 | 0.3 | |
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