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空氣過濾器標(biāo)準(zhǔn)和效率
隨著微電子工業(yè)的發(fā)展, 對過濾器要求越來越嚴(yán), 德標(biāo)準(zhǔn)DIN24183提出 "zui容易穿透粒徑"(Most Penetrating Particle Size, 簡稱MPPS)法, 并采用zui容易穿 透粒徑來檢測空氣過濾器的效率. 其實不同的濾料和不同的濾速zui容易穿透粒徑是 不同的, 一般在0.11um-0.25um范圍內(nèi). 然后以此粒徑測試其效率或用于掃描實驗. MPPS是目前zui嚴(yán)格的試驗標(biāo)準(zhǔn), 體測試一般采用DOP方法. DOP(鄰苯二甲二辛酯)法: 實驗塵源為0.3um單分散相DOP液滴, 測量粉塵儀器為光度
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