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    Alicat MCE SEMI標(biāo)準(zhǔn)氣體質(zhì)量流量控制器

    參  考  價(jià)面議
    具體成交價(jià)以合同協(xié)議為準(zhǔn)

    產(chǎn)品型號(hào)

    品       牌

    廠商性質(zhì)經(jīng)銷商

    所  在  地深圳市

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    更新時(shí)間:2024-08-23 07:37:36瀏覽次數(shù):192次

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    MCE 系列 SEMI 標(biāo)準(zhǔn)氣體質(zhì)量流量控制器配備 1/4 英寸 VCR 接頭,并與 SEMI 標(biāo)準(zhǔn) MFC 端到端匹配,便于直接升級(jí)到真空沉積夾具。控制 98 種以上氣體的質(zhì)量流量或壓力。
    SEMI標(biāo)準(zhǔn)氣體質(zhì)量流量控制器描述
    MCE 系列性能(大多數(shù)產(chǎn)品)
    可用滿量程范圍: 0.5 SCCM 至 20 SLPM
    穩(wěn)態(tài)控制范圍:滿量程的 0.01% – 99%
    標(biāo)準(zhǔn)精度校準(zhǔn),NIST 可溯源:讀數(shù)的 ±0.6% 或滿量程的 ±0.1%,以較大者為準(zhǔn)
    可選的高精度校準(zhǔn),NIST 可溯源:讀數(shù)的 ±0.5% 或滿量程的 ±0.1%,以較大者為準(zhǔn)
    重復(fù)性: ±(讀數(shù)的 0.1% + 滿量程的 0.02%)
    典型控制響應(yīng)時(shí)間: 30 ms
    預(yù)熱時(shí)間: <1 s
    MCE 系列工作條件
    兼容氣體: 98 多種預(yù)加載的可選氣體校準(zhǔn)
    工作溫度: –10°C 至 +60°C
    滿量程工作壓力: 160 PSIA
    壓差:  75 PSID
    耐壓: 175 PSIA
    用戶可選擇的參考條件(默認(rèn)):  25°C & 1 ATM (STP) 和 0°C & 1 ATM (NTP)
     
    設(shè)備范圍和完整規(guī)格
    器件的定制范圍從 0.5 SCCM 滿量程 到20 SLPM 滿量程,可控范圍為滿量程的0.01% 到 99%。
     
    有關(guān)從0.5 SCCM 滿量程到5 SCCM 滿量程的設(shè)備規(guī)格,請(qǐng)參閱 MCE 系列低流量設(shè)備規(guī)格。
    有關(guān)從10 SCCM 滿量程到20 SLPM 滿量程的設(shè)備規(guī)格,請(qǐng)參閱MCE 系列中流量設(shè)備規(guī)格。
     
    每個(gè)設(shè)備都包含
    多變量過(guò)程測(cè)量:同時(shí)測(cè)量質(zhì)量流量、體積流量、氣體壓力和氣體溫度。
    用戶可更改的測(cè)量單位:從我們廣泛的工程單位列表中更改壓力、流量或溫度的測(cè)量單位。
    氣體可選性: 從我們氣體列表中的 98 多種預(yù)加載 NIST 可溯源氣體校準(zhǔn)中選擇您的工藝氣體 。
    Gas Select COMPOSER™: 使用我們的Gas Select Composer ™ 固件定義多達(dá) 5 種成分氣體的 20 種自定義氣體混合物。
    帶集成觸摸板的單色背光 LCD: 使用背光顯示屏和控制配置以及用戶友好的集成觸摸板輕松讀取測(cè)量值。
    用戶可調(diào)節(jié)的設(shè)定點(diǎn)斜坡和限制:可配置的斜坡率允許根據(jù)需要控制過(guò)程變量的快或慢,可配置的設(shè)定點(diǎn)限制可保護(hù)過(guò)程免受無(wú)意的設(shè)定點(diǎn)更改。
    用戶可調(diào)節(jié)標(biāo)準(zhǔn)溫度和壓力 (STP) 條件: 快速 更改參考條件 ,無(wú)需重新校準(zhǔn)。
    閥門關(guān)閉覆蓋和閥門打開(kāi)覆蓋:利用警報(bào)快速排放系統(tǒng)或根據(jù)需要停止所有流量。
     
    SEMI標(biāo)準(zhǔn)氣體質(zhì)量流量控制器配件
    工藝端口接頭和過(guò)濾器
    電源
    通信電纜和轉(zhuǎn)換電纜
    BB3 和 BB9 多點(diǎn)分線盒

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