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    北京金時速儀器設(shè)備經(jīng)營部


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    四探針測試儀RTS-8

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    具體成交價以合同協(xié)議為準(zhǔn)

    產(chǎn)品型號

    品       牌

    廠商性質(zhì)代理商

    所  在  地北京市

    聯(lián)系方式:胡榮健查看聯(lián)系方式

    更新時間:2017-03-30 13:50:02瀏覽次數(shù):1714次

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    產(chǎn)品簡介

    四探針測試儀RTS-8
    運用四探針測量原理的多用途綜合測量設(shè)備。該儀器按照單晶硅物理測試方法國家標(biāo)準(zhǔn)并參考美國 A.S.T.M 標(biāo)準(zhǔn)而設(shè)計的,于測試半導(dǎo)體材料電阻率及方塊電阻(薄層電阻)的儀器。

    詳細(xì)介紹

     

    RTS-8型四探針測試儀

    恒流源電流量程分為1μA、10μA、100μA、1mA、10mA、100mA六檔;可連接電腦使用也可以不連接電腦使用,連接電腦使用帶自動測量功能,自動選擇適合樣品測試電流量程;高速并口通訊接口,連接電腦使用時采集數(shù)據(jù)到電腦的時間只需要1.5秒(在0.1mA、1mA、10mA、100mA量程檔時);

    RTS-8型數(shù)字式四探針測試儀是運用四探針測量原理的多用途綜合測量設(shè)備。該儀器按照單晶硅物理測試方法國家標(biāo)準(zhǔn)并參考美國   A.S.T.M 標(biāo)準(zhǔn)而設(shè)計的,于測試半導(dǎo)體材料電阻率及方塊電阻(薄層電阻)的儀器。
          儀器由主機、測試臺、四探針探頭、計算機等部分組成,測量數(shù)據(jù)既可由主機直接顯示,亦可由計算機控制測試采集測試數(shù)據(jù)到計算機中加以分析,然后以表格,圖形方式統(tǒng)計分析顯示測試結(jié)果。
          儀器采用了電子技術(shù)進行設(shè)計、裝配。具有功能選擇直觀、測量取數(shù)快、精度高、測量范圍寬、穩(wěn)定性好、結(jié)構(gòu)緊湊、易操作等特點。
          本儀器適用于半導(dǎo)體材料廠、半導(dǎo)體器件廠、科研單位、高等院校對半導(dǎo)體材料的電阻性能測試。 

    RTS-8型四探針測試儀前面板

     RTS-8型四探針軟件測試系統(tǒng)是一個運行在計算機上擁有友好測試界面的用戶程序,通過此測試程序輔助使用戶簡便地進行各項測試及獲得測試數(shù)據(jù)并對測試數(shù)據(jù)進行統(tǒng)計分析。
          測試程序控制四探針測試儀進行測量并采集測試數(shù)據(jù),把采集到的數(shù)據(jù)在計算機中加以分析,然后把測試數(shù)據(jù)以表格,圖形直觀地記錄、顯示出來。用戶可對采集到的數(shù)據(jù)在電腦中保存或者打印以備日后參考和查看,還可以把采集到的數(shù)據(jù)輸出到Excel中,讓用戶對數(shù)據(jù)進行各種數(shù)據(jù)分析

    技 術(shù) 指 標(biāo) :

     測量范圍

     電阻率:10-5~105 Ω.cm(可擴展);  
       方塊電阻:10-4~106
     Ω/□(可擴展); 
       電導(dǎo)率:10-5~105 s/cm; 
       電阻:10-5~105 Ω; 

    可測晶片直徑

     140mmX150mm(配S-2A型測試臺);
       200mmX200mm(配S-2B型測試臺);
       400mmX500mm(配S-2C型測試臺);

    恒流源

     電流量程分為1μA、10μA、100μA、1mA、10mA、100mA六檔,各檔電流連續(xù)可調(diào)

    數(shù)字電壓表

     量程及表示形式:000.00~199.99mV;    
       分辨力:10μV;
       輸入阻抗:>1000MΩ;
       精度:±0.1% ;
       顯示:四位半紅色發(fā)光管數(shù)字顯示;極性、超量程自動顯示;

    四探針探頭基本指標(biāo)

     間距:1±0.01mm;
       針間絕緣電阻:≥1000MΩ;
     
       機械游移率:≤0.3%;
       探針:碳化鎢或高速鋼Ф0.5mm;
       探針壓力:5~16 牛頓(總力);

    四探針探頭應(yīng)用參數(shù)

     (見探頭附帶的合格證)

    模擬電阻測量相對誤差
      ( 按JJG508-87進行)

     0.01Ω、0.1Ω、1Ω、10Ω、100Ω、1000Ω、10000Ω≤0.3%±1字

    整機測量zui大相對誤差

    (用硅標(biāo)樣片:0.01-180Ω.cm測試)≤±5%

    整機測量標(biāo)準(zhǔn)不確定度

     ≤5%

    測試模式

     可連接電腦測試也可不連接電腦測試

    軟件功能(選配)

    軟件可記錄、保存、打印每一點的測試數(shù)據(jù),并統(tǒng)計分析測試數(shù)據(jù)zui大值、zui小值、平均值、zui大百分變化、平均百分變化、徑向不均勻度、并將數(shù)據(jù)生成直方圖,

    也可把測試數(shù)據(jù)輸出到Excel中,對數(shù)據(jù)進行各種數(shù)據(jù)分析。軟件還可選擇自動測量功能,根據(jù)樣品電阻大小自動選擇適合電流量程檔測試。

    計算機通訊接口

     并口,高速并行采集數(shù)據(jù),連接電腦使用時采集數(shù)據(jù)到電腦的時間只需要1.5    秒(在 0.1mA、1mA、10mA、100mA量程檔時)。

    標(biāo)準(zhǔn)使用環(huán)境

     溫度:23±2℃;
       相對濕度:≤65%;
       無高頻干擾;
       無強光直射;

     

    可配ST-102E 型探針測試臺

    顯微鏡和 USB 接口 CCD 攝像頭共存的監(jiān)視方式ST-102E 型探針測試臺與測試儀器配接后可用于集成電路芯片及各種晶體管芯的電參數(shù)測試及功能調(diào)試,適用于科研、新品試制及小批量生產(chǎn)的中間測試。

    技 術(shù) 指 標(biāo) :
    工作臺面 370mm*245mm
    載物臺直徑 4"
    可選二種放大倍數(shù) *14-90 倍連續(xù)變倍;
    *17.5-112.5 倍連續(xù)變倍;
    監(jiān)視方式 顯微鏡和 USB 接口 CCD 攝像頭共存的監(jiān)視方式
    光學(xué)參數(shù) 手輪調(diào)焦范圍:60mm;升降調(diào)焦范圍:200mm;
    精密旋轉(zhuǎn)臺 粗調(diào)范圍:360°;微調(diào)范圍:±10°;zui小刻劃:1°;
    銅盤直徑:Φ85mm;絕緣盤直徑:Φ102mm
    三維探針座
    探針座 X、Y、Z 方向調(diào)節(jié)范圍:±3.25mm,分辨率±2µ;
    三維探針座在工作臺面可任意位置固定,由磁性開關(guān)控制;
    zui多可布三維探針座 6 個;
    探針臂伸出長度:60mm;探針長度:40mm;
    探針 探針材質(zhì)硬質(zhì)合金,針尖曲率半徑 2µm;標(biāo)準(zhǔn)配置:主工作臺、顯微鏡、USB 接口 CCD 攝像頭、三維微調(diào)座 2 個、探針臂 2 支、探針 2 支。可選配件:三維微調(diào)架、探針臂、探針、真空泵。可按用戶的實際需求進行訂做。

    電動臺

    四探針測試儀RTS-8四探針測試儀RTS-8

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