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  • 深圳市科銳詩汀科技有限公司
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    金屬零部件

    參  考  價面議
    具體成交價以合同協議為準

    產品型號Showerhead

    品       牌其他品牌

    廠商性質代理商

    所  在  地深圳市

    更新時間:2025-08-01 10:22:37瀏覽次數:1552次

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    產地 國產 加工定制
    半導體 Showerhead,中文名稱為噴淋頭、氣體分配盤或勻氣盤,是半導體制造設備中的核心部件,在半導體生產過程中起著關鍵作用12。可應用于半導體前制程設備如 ETCH、CVD 等設備中。可提供更高的工藝一致性、穩定性、可重復性。

    金屬零部件Showerhead中文名叫噴淋頭、氣體分配盤或勻氣盤


    半導體 Showerhead,中文名稱為噴淋頭、氣體分配盤或勻氣盤,是半導體制造設備中的核心部件,在半導體生產過程中起著關鍵作用12。以下是關于它的詳細介紹:


    • 結構設計

      • 微孔結構:半導體 Showerhead 表面布滿了幾百上千個微小的通孔,孔徑通常在 0.2-6mm 之間。這些微孔的大小、分布、形狀和噴射角度等都是根據具體工藝精確設計的,以確保氣體能夠均勻地分配到反應腔中2

      • 氣體通道:內部有復雜的氣體通道結構,用于引導和分配不同的氣體,使它們在到達反應腔之前能夠充分混合和均勻分布,以滿足半導體工藝對氣體流量和濃度的精確要求。

    • 材料分類1

      • 金屬 Showerhead:材質包括鋁合金、不銹鋼和鎳金屬等,其中鋁合金是zuiguang泛使用的材料,因為它具有良好的導熱性能、較強的抗腐蝕能力,來源廣泛且易于加工。

      • 非金屬 Showerhead:材質包括碳化硅(CVD-SiC)、單晶硅、石英玻璃和高純度陶瓷等,主要應用在芯片加工設備的關鍵工藝制程位置,對材質和加工后的零件質量,尤其是孔的一致性要求jigao。

    • 功能作用

      • 氣體均勻分配:將各種工藝氣體均勻地噴射到反應腔室內的晶圓表面,確保晶圓不同區域能夠均勻地 “沐浴" 在工藝氣體中,從而提高生產效率和產品質量,保證沉積膜層的均勻性和一致性2

      • 參與化學反應:在化學氣相沉積(CVD)等工藝中,Showerhead 將不同的前驅體氣體混合并噴射到襯底表面,使其在一定條件下發生化學反應,形成所需的薄膜,如硅氧化物、多晶硅、金屬氧化物等2

      • 控制反應環境:用于控制反應腔室內的氣氛和溫度,提供精確的氣體混合物,并在所需的位置產生均勻的氣體,確保反應腔室內的氣體分布均勻,實現穩定的沉積過程2

      • 形成均勻電場:在等離子體輔助工藝(如 PECVD、干法刻蝕)中,Showerhead 作為電極的一部分,通過射頻電源產生均勻電場,促進等離子體均勻分布,進而提升刻蝕或沉積的均勻性2

        應用領域

      • 刻蝕工藝:在刻蝕設備中,Showerhead 用于精確控制刻蝕氣體的流量和分布,確保對晶圓表面的精確刻蝕,以形成所需的電路圖案和結構4

      • 沉積工藝:如化學氣相沉積(CVD)、物理氣相沉積(PVD)等,Showerhead 將沉積材料的前驅體氣體均勻地輸送到晶圓表面,實現薄膜的生長和沉積2

      • 清洗工藝:在半導體清洗設備中,Showerhead 可以將清洗液或氣體均勻地噴射到晶圓表面,去除表面的雜質和污染物,保證晶圓的清潔度。

    金屬零部件

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