帶你一起了解日揚“真空系統”

真空系統是什么？

   半導體產業是實現中國“智"造和“自"造永遠繞不開的熱門話題，作為現代高科技產業的重要組成部分，其制造過程中涉及到許多高度精密的工藝和技術，其中真空系統作為半導體制造的關鍵環節之一，發揮著至關重要的作用。
    在常溫和常壓下，環境中包含著大量不純凈的物質，在半導體制造過程中，芯片容易受到氧化和污染，嚴重影響芯片品質和生產效率。所以半導體的生產需要在高真空環境下進行。而我們把能夠精確控制真空環境來進行半導體材料及器件的加工與處理的系統，稱為半導體的“真空系統"。

    半導體生產過程中的真空系統主要由真空零部件構成，它主要包括以下部分：

  1真空腔體：用于容納待加工的半導體材料或器件。

  2真空泵：用于創建和維持高真空環境的泵，如離心泵、擴散泵、吸附泵等。

  3真空閥門：用于控制氣體流動和隔離不同的真空室或部件。發揮著開閉、控制流量/流向、調節壓力等作用。

  4 真空密封件：用于連接不同的真空室和管道，并確保系統的密封性能。例如真空法蘭、橡膠圈、波紋管等。

  5壓力計和真空規：用于監測和控制系統內部的真空壓力。

  6觀測窗口：用于在不破壞真空環境的情況下觀察系統內部的部件和工藝過程。

   真空系統的作用：

   1.提供高度穩定和潔凈的加工環境，去除顆粒、不需要的氣體、水汽和沾污物，有助于減少雜質對半導體材料的污染。

   2.通過控制氣壓和氣體成分，實現對半導體器件生長、制備和加工過程的精確控制，例如沉積、腐蝕、清洗等工藝步驟。