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闡述渦輪分子泵的工作原理

時間：2016-7-1閱讀：1741

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渦輪分子泵的抽氣原理分子泵輸送氣體應(yīng)滿足二個必要條件： 1）. 渦輪分子泵必須在分子流狀態(tài)下工作。因?yàn)楫?dāng)將一定容積的容器中所含氣體的壓力降低時，其中氣體分子的平均自由程則隨之增加。在常壓下空氣分子的平均自由程只有 0.06 μm ，即平均看一個氣體分子只要在空間運(yùn)動 0.06 μm ，就可能與第二個氣體分子相碰。而在 1.3Pa 時，分子間平均自由程可達(dá) 4.4mm 。若平均自由程增加到大于容器壁間的距離時，氣體分子與器壁的碰撞機(jī)會將大于氣體分子之間的碰撞機(jī)會。在分子流范圍內(nèi)，氣體分子的平均自由程長度遠(yuǎn)大于分子泵葉片之間的間距。當(dāng)器壁由不動的定子葉片與運(yùn)動著的轉(zhuǎn)子葉片組成時，氣體分子就會較多地射向轉(zhuǎn)子和定子葉片，為形成氣體分子的定向運(yùn)動打下基礎(chǔ)。 2）. 分子泵的轉(zhuǎn)子葉片必須具有與氣體分子速度相近的線速度。具有這樣的高速度才能使氣體分子與動葉片相碰撞后改變隨機(jī)散射的特性而作定向運(yùn)動。分子泵的轉(zhuǎn)速越高，對提高分子泵的抽速越有利。實(shí)踐表明，對不同分子量的氣體分子其速度越大，泵抽除越困難。

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