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磁控濺射陰極技術及特點

時間：2015-4-22閱讀：2075

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磁控濺射陰極核心技術及特點：

1.特殊設計的磁體結構，使得磁場線跨度范圍更寬，從而提高靶材的利用率和膜層的均勻性

2.湍流冷卻技術，使得水流能夠更平緩的進入陰極，從而提高冷卻效果

3.特殊設計的耙材固定結構，使得耙材更換起來更簡單，降低停工期

4.*的磁體材料 NdFeB，他的強度比其他的稀土磁體要強30%

磁控濺射陰極優勢

1.*的靶材利用率，zui高可以達到50%，從而降低靶材成本

2.*的產品均勻性，zui高可以達到±3%

3.可以在更低的真空以及更高的功率下運行：zui低壓力可以達到10-4TOR

4.我們的直接水冷結構可以提高其功率密度達到250Watt s/in2

5.提高沉積速率

6.多樣的復合設計

7.高標準率

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