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EXTORR四極質譜分析儀

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特點及應用：

•操作簡單

•可靠，方便

•在線原位分析真空環境及工藝氣體

•定性或定量分析監測濺射鍍膜反應工藝過程中真空室內的氣體分壓強

•優化工藝過程參數，提高鍍膜產品質量

•對真空系統檢漏

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