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安捷倫真空泵分子泵組: TPS-移動型渦輪分子泵組 TPS-flexy 渦輪分子泵組 TPS-mini渦輪分子泵組 TPS緊湊型渦輪分子泵組 IDP-3

真空規管及顯示儀表: 瑞士INFICON真空計 Granville-Phillips真空規管及顯示器 INFICON真空規管及顯示器英國EDWARDS真空規管及顯示儀表

石英晶體膜厚控制儀: INFICON晶控探頭維修配件 MAXTEK INFICON

HTC真空閥: APC真空鐘擺閥 HTC真空蝶閥

INFICON檢漏儀: 超聲波檢漏儀易燃性氣體檢漏儀一氧化碳檢測儀冷媒檢漏儀氦質譜檢漏儀

Htc 真空管件: Htc 金屬真空波紋（軟）管 Htc 彎頭管件 Htc 三通管件 Htc 四通/十字通管件 Htc 真空轉接管件

真空開關及真空饋入件: 瑞士INFICON公司

HTC 真空轉接頭: HTC 管狀直通型轉接頭 HTC 圓錐形大小頭轉接頭 HTC KF轉其他形式轉接頭

石英晶振片: 美國MAXTEK晶振片美國INFICON晶振片

HTC真空角閥: HTC真空角閥-手動 HTC真空角閥-氣動 HTC Z型閥-手動 HTC Z型閥-氣動 HTC Y型閥-手動 HTC Y型閥-氣動 HTC 全金屬閥門 HTC 不銹鋼波紋管密封閥門 HTC 球閥

四極質譜分析儀: 瑞士INFICON四極質譜

真空泵: 艾克森真空泵干泵泵組復合渦輪分子泵渦輪分子泵隔膜真空泵旋片泵

HTC真空閘閥: HTC手動－高真空閘閥 HTC手動-超高真空閘閥 HTC氣動-高真空閘閥 HTC氣動-超高真空閘閥

質量流量計: Vogtlin流量計 MKS流量計

HTC 真空法蘭: HTC KF法蘭系列 HTC ISO法蘭系列 HTC CF法蘭系列

HTC 中心圈: HTC KF中心圈系列 HTC ISO中心圈系列

HTC訂制真空腔體: 學術與研究單位訂制腔體批次真空訂制腔體連續式真空訂制腔體客制化模組

波前傳感器

科學相機（EMCCD）

變形鏡

低溫黑體及大面源黑體

高精度線切割機

500MM望遠鏡

壓電閥及自動壓強控制儀: 瑞士INFICON氣體壓強控制儀美國HEY壓電閥

非標真空設備

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XT100,XT200,XT300 四極質譜殘余氣體分析儀

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XT100,XT200,XT300美國EXTORR四極質譜殘余氣體分析儀

特點及應用：

•操作簡單

•可靠，方便

•在線原位分析真空環境及工藝氣體

•對真空系統檢漏
•優化工藝過程參數，提高鍍膜產品質量

•定性或定量分析監測濺射鍍膜反應工藝過程中真空室內的氣體分壓強
在工藝中的效果

•改善質量

•改進工藝
•減少停機時間

•提高流片量
•縮小工藝周期

•降低成本

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