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    INFICON冷陰極和皮拉尼復合真空計詳細說明

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    INFICON的冷陰極和皮拉尼的復合真空規 MPG400和MPG401, 測量范圍從 5x10-9毫巴至大氣壓(3.8 x10-9乇至大氣壓).將兩種測量方式組合在一個具有對數模擬輸出的小型單元內,大大地降低了安裝,設置和集成的復雜性.




    優點:

    復合真空規—冷陰極與皮拉尼
    高壓加上時LED指示燈亮
    易清洗
    的引燃功能
    無可燒毀的燈絲
    FPM或金屬密封的饋入件
    寬的壓強測量范圍從5X10-9毫巴至大氣壓
    對數模擬輸出訊號
    應用:
    蒸發和濺射系統的壓強測量
    高真空壓強監測
    一般真空測量和控制,從中至高真空范圍
    技術參數:

     測量范圍空氣, N2)
    毫巴
    5 x 10-9… 1000 (3.8 x 10-9… 760)
    精度 (N2) 1 x 10-8 … 100毫巴
    % 讀值
    ≈±30%
    重復性1 x 10-8 … 100毫巴
    % 讀值
    ≈±5%
    安裝方向
     
    任何
    允許壓強
    ≤10 (限于惰性氣體
    允許溫度
    工作室溫
    貯存 
    烘烤 1)
    燈絲溫度皮拉尼
     
    °C
    °C
    °C
    °C
     
    +5 … +55
    –40 … +65
    150
    120
    電源電壓
     
     
    在規管上
    V DC
    +15 … +30
    在供電單元上, zui大電纜長度 2)
    V DC
    +16 … +30
    紋波
    Vpp
    ≤1
    功耗
    W
    ≤2
    連接保險絲
    AT
    ≤1
    輸出訊號測量訊號
     
     
    電壓范圍
    V
    0 … +10.5
    測量范圍
    V
    +1.82 … +8.6
    電壓與壓強的關系
     
    對數, 0.6 V/量級
    誤差訊號
    V
    <0.5 (無電源
     
    V
    >9.5 (皮拉尼傳感器, 燈絲斷裂
    輸出阻抗
    ?
    2 x 10
    zui小負載阻抗
    k?
    10, 短路保護
    響應時間      p > 10-6 毫巴
    毫秒
    <10
    p = 10-8 毫巴
    毫秒
    ≈1000
    規管標識
    k?
    85, 參考電源公共點
    狀態
     
     
    僅皮拉尼模式
    V
    0 (
    復合皮拉尼 / 冷陰極模式
    V
    15 … 30 (
    指示燈
    LED 綠色
    高壓on
    電氣連接
     
    FCC 68 設備連接件, 8,凹型
    傳感器電纜
     
    8,加屏蔽
    電纜長度
    ≤50 (8 x 0.14 毫米2
    工作電壓
    千伏
    ≤3.3
    工作電流
    微安
    ≤500
    暴露于真空的材料 
     
    不銹鋼, Al2O3, FPM75,    Mo, Ni, Au, W
    不銹鋼, Al2O3, Ag, Cu, Sn               Mo, Ni, Au, W
    內容積
    厘米3
    ≈20
    重量
     
     
    DN 25 ISO-KF
    ≈700 ≈730
    DN 40 ISO-KF
    ≈720 ≈750
    DN 40 CF-F
    ≈980 ≈1010
    保護級別
     
    IP 40
    標準
     
    EN 61000-6-2, EN 61000-6-3, EN 61010-1

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